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    刘成森, 王德真

    Plasma source ion implantation near the end of a cylindrical bore using an auxiliary electrode for finite rise time voltage pulses

    Liu Cheng Sen, Wang De Zhen
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    出版历程
    • 收稿日期:2002-03-22
    • 修回日期:2002-04-27
    • 刊出日期:2005-04-03

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