[1] |
蒋梅燕, 朱政杰, 陈成克, 李晓, 胡晓君.硫离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能. 必威体育下载 , 2019, 68(14): 148101.doi:10.7498/aps.68.20190394 |
[2] |
张娇, 李毅, 刘志敏, 李政鹏, 黄雅琴, 裴江恒, 方宝英, 王晓华, 肖寒.掺钨VO2薄膜的电致相变特性. 必威体育下载 , 2017, 66(23): 238101.doi:10.7498/aps.66.238101 |
[3] |
徐婷婷, 李毅, 陈培祖, 蒋蔚, 伍征义, 刘志敏, 张娇, 方宝英, 王晓华, 肖寒.基于AZO/VO2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器. 必威体育下载 , 2016, 65(24): 248102.doi:10.7498/aps.65.248102 |
[4] |
谭再上, 吴小蒙, 范仲勇, 丁士进.热退火对等离子体增强化学气相沉积SiCOH薄膜结构与性能的影响. 必威体育下载 , 2015, 64(10): 107701.doi:10.7498/aps.64.107701 |
[5] |
王锐, 胡晓君.氧离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能研究. 必威体育下载 , 2014, 63(14): 148102.doi:10.7498/aps.63.148102 |
[6] |
杨发展, 沈丽如, 王世庆, 唐德礼, 金凡亚, 刘海峰.等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 2013, 62(1): 017802.doi:10.7498/aps.62.017802 |
[7] |
侯国付, 薛俊明, 袁育杰, 张晓丹, 孙建, 陈新亮, 耿新华, 赵颖.高压射频等离子体增强化学气相沉积制备高效率硅薄膜电池的若干关键问题研究. 必威体育下载 , 2012, 61(5): 058403.doi:10.7498/aps.61.058403 |
[8] |
李天微, 刘丰珍, 朱美芳.射频激发热丝化学气相沉积制备硅薄膜过程中光发射谱的研究. 必威体育下载 , 2011, 60(1): 018103.doi:10.7498/aps.60.018103 |
[9] |
胡晓君, 胡衡, 陈小虎, 许贝.磷离子注入纳米金刚石薄膜的n型导电性能与微结构研究. 必威体育下载 , 2011, 60(6): 068101.doi:10.7498/aps.60.068101 |
[10] |
刘燕燕, E. Bauer-Grosse, 张庆瑜.微波等离子体化学气相沉积合成掺氮金刚石薄膜的缺陷和结构特征及其生长行为. 必威体育下载 , 2007, 56(4): 2359-2368.doi:10.7498/aps.56.2359 |
[11] |
曾湘波, 廖显伯, 王 博, 刁宏伟, 戴松涛, 向贤碧, 常秀兰, 徐艳月, 胡志华, 郝会颖, 孔光临.等离子体增强化学气相沉积法实现硅纳米线掺硼. 必威体育下载 , 2004, 53(12): 4410-4413.doi:10.7498/aps.53.4410 |
[12] |
王 淼, 李振华, 竹川仁士, 齐藤弥八.利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究. 必威体育下载 , 2004, 53(3): 888-890.doi:10.7498/aps.53.888 |
[13] |
杨武保, 王久丽, 张谷令, 范松华, 刘赤子, 杨思泽.丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究. 必威体育下载 , 2004, 53(9): 3099-3103.doi:10.7498/aps.53.3099 |
[14] |
于 威, 刘丽辉, 侯海虹, 丁学成, 韩 理, 傅广生.螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜. 必威体育下载 , 2003, 52(3): 687-691.doi:10.7498/aps.52.687 |
[15] |
宁兆元, 程珊华, 叶超.电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构. 必威体育下载 , 2001, 50(3): 566-571.doi:10.7498/aps.50.566 |
[16] |
陈小华, 吴国涛, 邓福铭, 王健雄, 杨杭生, 王淼, 卢筱楠, 彭景翠, 李文铸.射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱. 必威体育下载 , 2001, 50(7): 1264-1267.doi:10.7498/aps.50.1264 |
[17] |
韩理, 王晓辉, 于威, 董丽芳, 李晓苇, 傅广生.电子助进热丝化学汽相沉积金刚石薄膜. 必威体育下载 , 1997, 46(11): 2206-2214.doi:10.7498/aps.46.2206 |
[18] |
张亚菲, 陈光华.化学汽相沉积金刚石生长表面氢原子覆盖率的研究. 必威体育下载 , 1996, 45(3): 539-544.doi:10.7498/aps.45.539 |
[19] |
王万录, 高锦英, 廖克俊, 刘爱民.直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究. 必威体育下载 , 1992, 41(11): 1906-1912.doi:10.7498/aps.41.1906 |
[20] |
张仿清, 张亚非, 杨映虎, 李敬起, 陈光华, 蒋翔六.直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量. 必威体育下载 , 1990, 39(12): 1965-1969.doi:10.7498/aps.39.1965 |