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    田晶泽, 吕反修, 夏立芳

    DEPOSITION OF HIGH-QUALITY c-BN FILM ENHANCED BY PULSED DC BIAS TECHNIQUE

    TIAN JING-ZE, Lü FAN-XIU, XIA LI-FANG
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    出版历程
    • 收稿日期:2001-01-11
    • 修回日期:2001-04-23
    • 刊出日期:2001-11-20

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