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采用双阴极封闭型非平衡磁场dc反应磁控溅射离子镀制备C3N4/TiN复合交替膜，用X射线光电子能谱法分析了薄膜的组成，测量了薄膜的X射线衍射谱和氮化碳的透射电子衍射图像.氮化碳经氮化钛的强迫晶化作用，生成了β-C3N4和c-C3N4.
Abstract
We prepared alternating CNx/TiN composite films using a dc magnetron sputtering system in which a closed unbalanced magnetic field was adopted and a negatively biased grating was placed in front of each substrate. The composition of the thin film was analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). X-ray diffraction (XRD) and transmission electron diffraction (TED) revealed that the CNx films deposited at grating voltages lower than 400V are amorphous. β-C3N4 and subic-C3N4(c-C3N4) were formed at higher voltages. A high grating voltage is indispensable for synthesis of c-C3N4. The lattice constants of C3N4 evaluated from the experimental data agree well with reported theoretical values.
作者及机构信息
吴大维,

付德君,

毛先唯,

叶明生,

彭友贵,

范湘军

1.

基金项目:国家自然科学基金(批准号：95571047）资助的课题.
Authors and contacts
WU DA-WEI,

FU DE-JUN,

MAO XIAN-WEI,

YU MING-SHENG,

PENG YOU-GUI,

FAN XIANG-JUN

1.
参考文献

施引文献

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[7]	陈玉红, 康龙, 张材荣, 罗永春, 元丽华, 李延龙.(Ca3N2)n(n=1—4)团簇结构与性质的密度泛函理论研究. 必威体育下载 , 2008, 57(10): 6265-6270.doi:10.7498/aps.57.6265
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[17]	丁瑞钦, 王浩, W.F.LAU, W.Y.CHEUNG, S.P.WONG, 王宁娟, 于英敏.InP/SiO2纳米复合膜的微观结构和光学性质. 必威体育下载 , 2001, 50(8): 1574-1579.doi:10.7498/aps.50.1574
[18]	张永平, 顾有松, 高鸿钧, 张秀芳.微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究. 必威体育下载 , 2001, 50(7): 1396-1400.doi:10.7498/aps.50.1396
[19]	吴大维, 何孟兵, 郭怀喜, 罗海林, 张志宏, 傅德君, 范湘军.C3N4薄膜的结构与性能研究. 必威体育下载 , 1997, 46(3): 530-535.doi:10.7498/aps.46.530
[20]	段玉华, 张开明, 谢希德.β-C3N4,β-Si3N4和β-Ge3N4的能带结构. 必威体育下载 , 1996, 45(3): 512-517.doi:10.7498/aps.45.512

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