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摘要

利用metal vapor vacuum arc离子源产生的C+离子，注入单晶Si衬底，得到了SiC埋层.利用X射线光电子能谱，研究了SiC埋层中Si2p的特征能量损失谱.结果表明：Si2p的特征能量损失谱依赖于SiC埋层中C原子的浓度分布，并且与SiC埋层的有序度对应.
Abstract
SiC buried layers were snythesized by a metal vapor vacuum arc ion source,with C+ ions implanted into crystalline Si substrates.According to X-ray photoelectron spectroscopy,the characteristic electron energy loss spectra of the SiC buried layers were studied.It was found that the characteristic electron energy loss spectra depend on the profiles of the carbon content,and correlate well with the order of the buried layers.
作者及机构信息
严辉¹,

陈光华¹,

黄世平²,

郭伟民³
Authors and contacts
YAN HUI¹,

CHEN GUANG-HUA¹,

S.P.WONG²,

R.W.M.KWOK³
参考文献

施引文献

[1]	刘欢, 李公平, 许楠楠, 林俏露, 杨磊, 王苍龙.Cu离子注入单晶TiO2微结构及光学性质的模拟研究. 必威体育下载 , 2016, 65(20): 206102.doi:10.7498/aps.65.206102
[2]	秦希峰, 马桂杰, 时术华, 王凤翔, 付刚, 赵金花.铒离子注入绝缘体上Si的射程分布研究. 必威体育下载 , 2014, 63(17): 176101.doi:10.7498/aps.63.176101
[3]	朱贺, 张兵坡, 王淼, 胡古今, 戴宁, 吴惠桢.高剂量As离子注入对高阻Si电学特性的影响. 必威体育下载 , 2014, 63(13): 136803.doi:10.7498/aps.63.136803
[4]	王茺, 杨宇, 杨瑞东, 李亮, 韦冬, 靳映霞, Bao Ji-Ming.绝缘氧化层上自离子注入Si薄膜W线发光性能的调控. 必威体育下载 , 2011, 60(10): 106104.doi:10.7498/aps.60.106104
[5]	王军转, 石卓琼, 娄昊楠, 章新栾, 左则文, 濮林, 马恩, 张荣, 郑有炓, 陆昉, 施毅.掺铒Si/Al2O3多层结构中结晶形态对1.54 μm发光的影响. 必威体育下载 , 2009, 58(6): 4243-4248.doi:10.7498/aps.58.4243
[6]	高皓, 廖龙忠, 张朝晖.离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究. 必威体育下载 , 2009, 58(1): 427-431.doi:10.7498/aps.58.427
[7]	陈志权, 河裾厚男.He离子注入ZnO中缺陷形成的慢正电子束研究. 必威体育下载 , 2006, 55(8): 4353-4357.doi:10.7498/aps.55.4353
[8]	刘雪芹, 王印月, 甄聪棉, 张静, 杨映虎, 郭永平.离子注入和固相外延制备Si1-x-yGexCy半导体薄膜. 必威体育下载 , 2002, 51(10): 2340-2343.doi:10.7498/aps.51.2340
[9]	王培录, 刘仲阳, 郑思孝, 廖小东, 杨朝文, 唐阿友, 师勉恭, 杨百方, 缪竞威.氮原子、分子与团簇离子注入Si(111)的特性研究. 必威体育下载 , 2001, 50(5): 860-864.doi:10.7498/aps.50.860
[10]	彭英才, 徐刚毅, 何宇亮, 刘明, 李月霞.(n)nc-Si：H/(p)c-Si异质结中载流子输运性质的研究. 必威体育下载 , 2000, 49(12): 2466-2471.doi:10.7498/aps.49.2466
[11]	王引书, 李晋闽, 金运范, 王玉田, 林兰英.不同剂量C离子注入Si单晶中Si1-xCx合金的形成及其特征. 必威体育下载 , 2000, 49(11): 2210-2213.doi:10.7498/aps.49.2210
[12]	杨宇, 夏冠群, 赵国庆, 王迅.Si离子注入对分子束外延Si1-xGex/Si量子阱发光特性的影响. 必威体育下载 , 1998, 47(6): 978-984.doi:10.7498/aps.47.978
[13]	卢武星, R.J.Schreatelkamp, J.R.Liefting, F.W.Saris.高能重离子注入Si中缺陷的抑制. 必威体育下载 , 1995, 44(7): 1101-1107.doi:10.7498/aps.44.1101
[14]	高山虎, 张云, 荀坤, 赵汝光, 杨威生.用可调探深的电子能量损失谱研究Sn/Si界面. 必威体育下载 , 1993, 42(8): 1290-1296.doi:10.7498/aps.42.1290
[15]	卢武星, 钱亚宏, 田人和, 王忠烈.MeV高能B+离子注入Si中二次缺陷的抑制与消除. 必威体育下载 , 1990, 39(2): 254-260.doi:10.7498/aps.39.254
[16]	俞跃辉, 林成鲁, 张顺开, 方子韦, 邹世昌.离子注入形成SOI结构的界面及埋层的俄歇能谱研究. 必威体育下载 , 1989, 38(12): 1996-2002.doi:10.7498/aps.38.1996
[17]	高愈尊, 大贯惣明, 高桥平七郎, 佐藤義一, 竹山太郎.氢离子注入对硅单晶电子辐照缺陷和氢泡形成的影响. 必威体育下载 , 1988, 37(1): 152-156.doi:10.7498/aps.37.152
[18]	何星飞, 莫党.离子注入Si损伤分布的光谱法多层分析. 必威体育下载 , 1986, 35(12): 1567-1573.doi:10.7498/aps.35.1567
[19]	王渭源, 夏冠群, 卢建国, 邵永富, 乔墉.掺Cr半绝缘GaAs中Si离子注入的载流子分布尾研究. 必威体育下载 , 1985, 34(3): 402-407.doi:10.7498/aps.34.402
[20]	李元恒.离子注入Si在连续CO2激光退火时的动态反射特性. 必威体育下载 , 1981, 30(4): 542-544.doi:10.7498/aps.30.542

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