- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

采用直流-射频等离子增强化学汽相沉积技术制备a-C∶H(N)薄膜，用X射线光电子能谱研究了混合气体中N2含量对薄膜成分与结构的影响.a-C∶H(N)薄膜中含氮量可达9.09%.对a-C∶H(N)薄膜的C1s和N1s结合能谱的分析表明a-C∶H(N)薄膜的结构是由C3N4相镶嵌在sp2键结合的CNx基体中组成.其中C3N4相中N和C原子比接近4∶3，不随薄
Abstract
The a-C∶H(N) films was deposited from the mixture of C2H2 and N2 by rf-dc plasma enhanced chemical vapor deposition. The influence of N2 percentage in the mixture on the composition and structure of a-C∶H(N) films was studied by XPS. As the N2 percentage in the feed gas was increased from 0% to 75%, up to 9.09% N was incorporated in the film. The results of analysing C1s and N1s core level indicated that a-C∶H(N) films are consisted of stoichiometry C3N4 phase and CHx matrix which is identified as predominantly sp2 bonded structure. The N/C ratio of C3N4 phase is near 4/3. The N atoms incorporated in the films is useful to increase the content of C3N4 phase and sp3/sp2 ratio.
作者及机构信息
程宇航¹,

吴一平¹,

陈建国¹,

乔学亮¹,

谢长生¹,

杨业智²,

莫少波²
Authors and contacts
CHENG YU-HANG¹,

WU YI-PING¹,

CHEN JIAN-GUO¹,

QIAO XUE-LIANG¹,

XIE CHANG-SHENG¹,

YANG YE-ZHI²,

MUO SHAO-BO²
参考文献

施引文献

[1]	许思维, 王训四, 沈祥.结合高分辨率X射线光电子能谱和拉曼散射研究Ge_xGa₈S_92–x玻璃结构. 必威体育下载 , 2023, 72(1): 017101.doi:10.7498/aps.72.20221653
[2]	周逸凡, 杨慕紫, 佘峰权, 龚力, 张晓琪, 陈建, 宋树芹, 谢方艳.X射线光电子能谱在固态锂离子电池界面研究中的应用. 必威体育下载 , 2021, 70(17): 178801.doi:10.7498/aps.70.20210180
[3]	杨蒙生, 易泰民, 郑凤成, 唐永建, 张林, 杜凯, 李宁, 赵利平, 柯博, 邢丕峰.沉积态铀薄膜表面氧化的X射线光电子能谱. 必威体育下载 , 2018, 67(2): 027301.doi:10.7498/aps.67.20172055
[4]	许思维, 王丽, 沈祥.GexSb20Se80-x玻璃的拉曼光谱和X射线光电子能谱. 必威体育下载 , 2015, 64(22): 223302.doi:10.7498/aps.64.223302
[5]	韩录会, 张崇宏, 张丽卿, 杨义涛, 宋银, 孙友梅.低速高电荷态重离子辐照的GaN晶体表面X射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 2010, 59(7): 4584-4590.doi:10.7498/aps.59.4584
[6]	李永华, 刘常升, 孟繁玲, 王煜明, 郑伟涛.NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析. 必威体育下载 , 2009, 58(4): 2742-2745.doi:10.7498/aps.58.2742
[7]	李涵, 唐新峰, 赵文俞, 张清杰.双原子填充式skutterudite化合物的结构及X射线光电子能谱分析. 必威体育下载 , 2006, 55(12): 6506-6510.doi:10.7498/aps.55.6506
[8]	欧谷平, 宋珍, 桂文明, 张福甲.原子力显微镜与x射线光电子能谱对LiBq4/ITO和LiBq4/CuPc/ITO的表面分析. 必威体育下载 , 2005, 54(12): 5717-5722.doi:10.7498/aps.54.5717
[9]	冯玉清, 赵昆, 朱涛, 詹文山.磁性隧道结热稳定性的x射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 2005, 54(11): 5372-5376.doi:10.7498/aps.54.5372
[10]	贾文红, 武海顺.GamPn和GamP-n团簇结构及其光电子能谱的理论研究. 必威体育下载 , 2004, 53(4): 1056-1062.doi:10.7498/aps.53.1056
[11]	何少龙, 李宏年, 李海洋, 张寒洁, 吕　斌, 何丕模, 鲍世宁, 徐亚伯.Yb掺杂C60薄膜的x射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 2004, 53(3): 915-921.doi:10.7498/aps.53.915
[12]	辛煜, 宁兆元, 程珊华, 陆新华, 江美福, 许圣华, 叶超, 黄松, 杜伟.源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响. 必威体育下载 , 2002, 51(8): 1865-1869.doi:10.7498/aps.51.1865
[13]	苑进社, 陈光德, 齐鸣, 李爱珍, 徐卓.分子束外延GaN薄膜的X射线光电子能谱和俄歇电子能谱研究. 必威体育下载 , 2001, 50(12): 2429-2433.doi:10.7498/aps.50.2429
[14]	李刘合, 张海泉, 崔旭明, 张彦华, 夏立芳, 马欣新, 孙跃.X射线光电子能谱辅助Raman光谱分析类金刚石碳膜的结构细节. 必威体育下载 , 2001, 50(8): 1549-1554.doi:10.7498/aps.50.1549
[15]	季振国, 陈立登, 马向阳, 姚鸿年, 阙端麟.发光多孔硅的X射线光电子能谱深度剖析. 必威体育下载 , 1995, 44(1): 57-63.doi:10.7498/aps.44.57
[16]	王楠林, 沙健, 张其瑞, 汪习清, 钱逸泰, 陈祖耀.Gd掺杂的Bi系2212相单晶电子状态的X射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 1992, 41(4): 655-660.doi:10.7498/aps.41.655
[17]	钟战天, 王大文, 廖显伯, 范越, 李承芳, 牟善明.Au/a-Si:H界面X射线光电子能谱和俄歇电子能谱研究. 必威体育下载 , 1991, 40(2): 275-280.doi:10.7498/aps.40.275
[18]	赵良仲.Ce(Ⅳ)和Ce(Ⅲ)化合物系列的X射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 1989, 38(6): 987-990.doi:10.7498/aps.38.987
[19]	张酣, 何振辉, 赵勇, 孙式方, 钱逸泰, 张其瑞.Y—Ba—Cu—Al—O体系的X射线光电子能谱研究. 必威体育下载 , 1989, 38(4): 689-693.doi:10.7498/aps.38.689
[20]	俞鸣人, 杨光, 王迅.用X射线光电子能谱测定InP(100)清洁表面的原子浓度比. 必威体育下载 , 1983, 32(6): 799-802.doi:10.7498/aps.32.799

计量

文章访问数:6911
PDF下载量:514
被引次数:0

搜索

留言板

STUDY ON THE STRUCTURE OF a-C∶H(N) FILMS BY XPS

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

STUDY ON THE STRUCTURE OF a-C∶H(N) FILMS BY XPS

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们