- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

用射频等离子体增强化学汽相沉积技术合成C3N4薄膜，并采用强迫晶化技术，经透射电子衍射观测，薄膜具有多晶结构．用X射线光电子能谱测试了C，N原子结合能及含氮量．傅里叶变换红外光谱曲线表明薄膜中不含石墨相．测得薄膜的维氏硬度为29.2—50.0GPa
Abstract
Nitride carbon thin films have been deposited by plasma-enhanced chemical vapor phase deposition. The results of transmission-electron diffraction indicated that films have polycrystal structures. Carbon and nitrogen atoms binding energies and the nitrogen content of the-films are measured out by X-ray photoelectron spectroscopy.The Fourier transform infrared spectrum show that there is no graphite phase in the films,and the Vickers hardness of the films vary from 29.2 to 50.0GPa.
作者及机构信息
吴大维,

何孟兵,

郭怀喜,

罗海林,

张志宏,

傅德君,

范湘军

1.

基金项目:国家自然科学基金资助的课题.
Authors and contacts
WU DA-WEI,

HE MENG-BING,

GUO HUAI-XI,

LUO HAI-LIN,

ZHANG ZHI-HONG,

FU DE-JUN,

FAN XIANG-JUN

1.
参考文献

施引文献

[1]	任国梁, 申开波, 刘永佳, 刘英光.类石墨烯氮化碳结构(C₃N)热传导机理研究. 必威体育下载 , 2023, 72(1): 013102.doi:10.7498/aps.72.20221441
[2]	刘晨曦, 庞国旺, 潘多桥, 史蕾倩, 张丽丽, 雷博程, 赵旭才, 黄以能.电场对GaN/g-C₃N₄异质结电子结构和光学性质影响的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2022, 71(9): 097301.doi:10.7498/aps.71.20212261
[3]	翟顺成, 郭平, 郑继明, 赵普举, 索兵兵, 万云, .第一性原理研究O和S掺杂的石墨相氮化碳(g-C3N4)6量子点电子结构和光吸收性质. 必威体育下载 , 2017, 66(18): 187102.doi:10.7498/aps.66.187102
[4]	彭方, 张庆礼, 王小飞, 张会丽, 丁守军, 刘文鹏, 罗建乔, 孙敦陆, 孙贵花.Nd3+:SrY2O4粉体的制备、结构与光谱性能研究. 必威体育下载 , 2016, 65(1): 014211.doi:10.7498/aps.65.014211
[5]	魏强.基于4A势能面研究C(3P)+NO(X2)CO(X1+)+N(4S)反应的立体动力学性质. 必威体育下载 , 2015, 64(17): 173401.doi:10.7498/aps.64.173401
[6]	罗庆洪, 陆永浩, 娄艳芝.Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究. 必威体育下载 , 2011, 60(8): 086802.doi:10.7498/aps.60.086802
[7]	李红凯, 林国强, 董闯.脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能. 必威体育下载 , 2010, 59(6): 4296-4302.doi:10.7498/aps.59.4296
[8]	唐春梅, 陈宣, 邓开明, 胡凤兰, 黄德财, 夏海燕.富勒烯衍生物C60（CF3）n（n=2，4，6，10）几何结构和电子性质变化规律的密度泛函研究. 必威体育下载 , 2009, 58(4): 2675-2679.doi:10.7498/aps.58.2675
[9]	喻利花, 董松涛, 董师润, 许俊华.AlN/Si3N4纳米多层膜的外延生长与力学性能. 必威体育下载 , 2008, 57(8): 5151-5158.doi:10.7498/aps.57.5151
[10]	陈玉红, 康龙, 张材荣, 罗永春, 元丽华, 李延龙.(Ca3N2)n(n=1—4)团簇结构与性质的密度泛函理论研究. 必威体育下载 , 2008, 57(10): 6265-6270.doi:10.7498/aps.57.6265
[11]	潘洪哲, 徐明, 祝文军, 周海平.β-Si3N4电子结构和光学性质的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2006, 55(7): 3585-3589.doi:10.7498/aps.55.3585
[12]	赵新新, 陶向明, 陈文斌, 陈鑫, 尚学府, 谭明秋.Cu(100)表面c(2×2)-N原子结构与吸附行为研究. 必威体育下载 , 2006, 55(11): 6001-6007.doi:10.7498/aps.55.6001
[13]	俞笑竹, 王婷婷, 叶超, 宁兆元.掺CH4的SiCOH低介电常数薄膜结构与介电性能研究. 必威体育下载 , 2005, 54(11): 5417-5421.doi:10.7498/aps.54.5417
[14]	吴志国, 张伟伟, 白利峰, 王君, 阎鹏勋.纳米Cu3N薄膜的制备与性能. 必威体育下载 , 2005, 54(4): 1687-1692.doi:10.7498/aps.54.1687
[15]	辛煜, 宁兆元, 甘肇强, 陆新华, 方亮, 程珊华.不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析. 必威体育下载 , 2001, 50(12): 2492-2496.doi:10.7498/aps.50.2492
[16]	张永平, 顾有松, 高鸿钧, 张秀芳.微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究. 必威体育下载 , 2001, 50(7): 1396-1400.doi:10.7498/aps.50.1396
[17]	翟光杰, 杨建树, 陈显邦, 王学森.Si(111)表面在NH3气氛下形成Si3N4薄膜的STM研究. 必威体育下载 , 2000, 49(2): 215-219.doi:10.7498/aps.49.215
[18]	陈俊芳, 吴先球, 王德秋, 丁振峰, 任兆杏.ECR-PECVD制备Si3N4薄膜沉积工艺的研究. 必威体育下载 , 1999, 48(7): 1309-1314.doi:10.7498/aps.48.1309
[19]	吴大维, 付德君, 毛先唯, 叶明生, 彭友贵, 范湘军.C3N4/TiN交替复合膜的微结构研究. 必威体育下载 , 1999, 48(5): 904-912.doi:10.7498/aps.48.904
[20]	段玉华, 张开明, 谢希德.β-C3N4,β-Si3N4和β-Ge3N4的能带结构. 必威体育下载 , 1996, 45(3): 512-517.doi:10.7498/aps.45.512

计量

文章访问数:7234
PDF下载量:744
被引次数:0

搜索

留言板

STRUCTURE AND CHARACTERISTICS OF C3N4 THIN FILMS

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

STRUCTURE AND CHARACTERISTICS OF C3N4 THIN FILMS

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们