- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术，研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响．当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时，外延Ge层形成岛状，应力完全释放．当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的，并且应力释放是缓慢的，即使Ge外延层厚为6nm，仍有42%的应变没有弛豫．
Abstract
The effect of Sb on Ge epilayer grown on Si(001) is investigated in situ by RHEED and ex situ by X-ray diffraction.Without Sb,island formation takes place when Ge epilayer is 6nm thick,and the strain in Ge epilyer is totally relaxed.With Sb,the growth mode of Ge on Si is two- dimensional, and the strain is relaxed gradually.Even if the thickness of the Ge epilayer is 6nm, 42%- strain is still not relaxed.
作者及机构信息
朱海军¹,

蒋最敏¹,

郑文莉²,

姜晓明²,

徐阿妹¹,

毛明春¹,

胡冬枝¹,

张翔九¹,

王迅¹

基金项目:国家自然科学基金
Authors and contacts
ZHU HAI-JUN¹,

JIANG ZUI-MIN¹,

ZHENG WEN-LI²,

JIANG XIAO-MING²,

XU A-MEI¹,

MAO MING-CHUN¹,

HUDONG ZHI¹,

ZHANG XIANG-JIU¹,

WANG XUN¹
参考文献

施引文献

[1]	刘文英, 王公堂, 段鹏怡, 张文杰, 张灿, 胡晓璇, 刘玫.F₄TCNQ/MoS₂纳米复合异质材料的表面结构对SERS的影响. 必威体育下载 , 2023, 72(3): 037402.doi:10.7498/aps.72.20221958
[2]	王海波, 罗震林, 刘清青, 靳常青, 高琛, 张丽.共振X射线衍射研究高温超导Sr₂CuO_3.4晶体中的调制结构. 必威体育下载 , 2019, 68(18): 187401.doi:10.7498/aps.68.20190494
[3]	徐晓明, 苗伟, 陶琨.X射线衍射仪固有角度刻度误差对点阵参数计算精确度影响的研究. 必威体育下载 , 2014, 63(13): 136001.doi:10.7498/aps.63.136001
[4]	刘海岗, 许子健, 张祥志, 郭智, 邰仁忠.中心挡板对扫描相干X射线衍射成像的影响. 必威体育下载 , 2013, 62(15): 150702.doi:10.7498/aps.62.150702
[5]	潘志云, 孙治湖, 谢治, 闫文盛, 韦世强.Si/Gen/Si(001)异质结薄膜的掠入射荧光X射线吸收精细结构研究. 必威体育下载 , 2007, 56(6): 3344-3349.doi:10.7498/aps.56.3344
[6]	杜晓松, S. Hak, O. C. Rogojanu, T. Hibma.氧化铬外延薄膜的x射线研究. 必威体育下载 , 2004, 53(10): 3510-3514.doi:10.7498/aps.53.3510
[7]	戚泽明, 施朝淑, 王正, 魏亚光, 谢亚宁, 胡天斗, 李福利.非晶和纳米ZrO2·Y2O3(15%)的X射线衍射与扩展X射线吸收精细结构研究. 必威体育下载 , 2001, 50(7): 1318-1323.doi:10.7498/aps.50.1318
[8]	李超荣, 吴立军, 陈万春.高分辨X射线衍射研究杂质对晶体结构完整性的影响. 必威体育下载 , 2001, 50(11): 2185-2191.doi:10.7498/aps.50.2185
[9]	杨家敏, 易荣清, 陈正林, 孙可煦, 丁耀南, 郑志坚, 李朝光, 崔明启, 朱佩平, 崔聪悟.透射光栅对软X射线衍射效率的研究. 必威体育下载 , 1998, 47(4): 613-618.doi:10.7498/aps.47.613
[10]	徐政, 赵小如, 吴文彬, 孙学峰, 汪良斌, 周贵恩, 李晓光, 张裕恒.Bi2Sr2CaCu2Oy单晶调制结构的X射线衍射研究. 必威体育下载 , 1996, 45(9): 1578-1585.doi:10.7498/aps.45.1578
[11]	王玉田, 庄岩, 江德生, 杨小平, 姜晓明, 武家杨, 修立松, 郑文莉.双势垒超晶格结构的同步辐射及X射线双晶衍射研究. 必威体育下载 , 1996, 45(10): 1709-1716.doi:10.7498/aps.45.1709
[12]	许强, 王建宝, 袁健, 陆昉, 孙恒慧.重掺硼快速退火分子束外延硅的X射线衍射研究. 必威体育下载 , 1995, 44(3): 432-438.doi:10.7498/aps.44.432
[13]	朱南昌, 李润身, 许顺生.半导体应变超晶格结构与界面的X射线双晶衍射研究. 必威体育下载 , 1991, 40(3): 433-440.doi:10.7498/aps.40.433
[14]	张建中, 曹嬿妮.发散X射线晶体衍射模拟研究. 必威体育下载 , 1990, 39(1): 124-128.doi:10.7498/aps.39.124
[15]	朱南昌, 李润身, 陈京一, 许顺生.晶体表面畸变的X射线双晶衍射研究. 必威体育下载 , 1990, 39(5): 770-777.doi:10.7498/aps.39.770
[16]	田亮光, 刘湘林, 许顺生, 韩效溪.液相外延(BiTm)3(FeGa)5O12石榴石单晶薄膜的X射线双晶衍射仪研究. 必威体育下载 , 1989, 38(10): 1704-1709.doi:10.7498/aps.38.1704
[17]	姜晓明, 蒋最敏, 刘文汉, 吴自勤.退火对W/C周期性多层膜X射线衍射性能的影响. 必威体育下载 , 1988, 37(11): 1893-1899.doi:10.7498/aps.37.1893
[18]	卢云锦, 杨星水, 赵骥万, 王桂琴, 张世远, 刘长清.添加剂(2Fe)·(Sn)对SmCo5永磁体X射线衍射相对强度I200/I111影响的研究. 必威体育下载 , 1982, 31(4): 467-473.doi:10.7498/aps.31.467
[19]	邢益荣, 白洪耐, 张立鹏, 王智.磁场对Ge表面场效应的影响. 必威体育下载 , 1966, 22(3): 304-309.doi:10.7498/aps.22.304
[20]	陈篪.X射线衍射仪的工作条件对干涉线纹的重心位置、均方宽度及线型的影响. 必威体育下载 , 1961, 17(10): 465-481.doi:10.7498/aps.17.465

计量

文章访问数:6712
PDF下载量:565
被引次数:0

搜索

留言板

SURFACTANT EFFECT ON THE STRUCTURE OF THIN Ge HETEROEPILAYERS STUDIED BY X-RAY DIFFRACTION

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

SURFACTANT EFFECT ON THE STRUCTURE OF THIN Ge HETEROEPILAYERS STUDIED BY X-RAY DIFFRACTION

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们