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刘家璐, 张廷庆, 李建军, 赵元富

SIMS ANALYSIS OF MIGRATION CHARACTERISTICS OF FLUORINE IN BF2+ IMPLANTED POLY-Si GATE UNDER CONVENTIONAL THERMAL ANNEALING

LIU JIA-LU, ZHANG TING-QING, LI JIAN-JUN, ZHAO YUAN-FU
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出版历程
  • 收稿日期:1996-11-04
  • 刊出日期:1997-04-05

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