- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

本工作采用时间分辨的OES(Optics Emission Spectroscopy)技术,研究横向激励大气压(TEA)CO2激光诱发的SiH4等离子体内碎片反应动力学过程。实验结果表明,等离子体内某些碎片的发光特征谱线主峰位置明显不同。据此,讨论了各碎片的产生及反应过程。比较各碎片发光的持续时间及综合其它OES结果,我们认为SIH4激光等离子体的最终反应通道为产生Si的通道。
Abstract
The reaction kinetic processes of species produced in a pulsed TEA CO2 laser induced si-lane plasma were studied with the time-resolved OES. It is showed that the time position of main peaks for different fragments' charactristic lines are appreciably different. The reaction kinetic processes are discussed based on the results. By comparing the time evolution of the lines of the fragments and considering the other results of OES, We infer that the final reaction channel of the laser-induced silane plasma is a Si producing channel.
作者及机构信息
傅广生¹,

王金国²,

李晓苇¹,

韩理¹,

吕福润¹

基金项目:国家自然科学基金资助的课题
Authors and contacts
FU GUANG-SHENG¹,

WANG JIN-GUO²,

LI XIAO-WEI¹,

HAN LI¹,

Lü FU-RUN¹
参考文献

施引文献

[1]	殷佳鹏, 刘圣广.用单发电子束探测激光等离子体内电磁场演化实验研究. 必威体育下载 , 2022, 71(1): 012901.doi:10.7498/aps.71.20211374
[2]	陈泽煜, 彭玉彬, 王瑞, 贺永宁, 崔万照.微波谐振腔低气压放电等离子体反应动力学过程. 必威体育下载 , 2022, 71(24): 240702.doi:10.7498/aps.71.20221385
[3]	刘帅, 黄易之, 郭海山, 张永鹏, 杨兰均.平行轨道加速器等离子体动力学特性研究. 必威体育下载 , 2018, 67(6): 065201.doi:10.7498/aps.67.20172403
[4]	余觉知, 胡勇胜, 李泓, 黄学杰, 陈立泉.一类阴离子自由基液态电极材料研究. 必威体育下载 , 2017, 66(8): 088201.doi:10.7498/aps.66.088201
[5]	蔡继兴, 郭明, 渠旭, 李贺, 金光勇.激光诱导等离子体的气体动力学和燃烧波扩展速度研究. 必威体育下载 , 2017, 66(9): 094202.doi:10.7498/aps.66.094202
[6]	郭连波, 郝荣飞, 郝中骐, 李阔湖, 沈萌, 任昭, 李祥友, 曾晓雁.激光诱导AlO自由基B2+X2+跃迁光谱研究. 必威体育下载 , 2013, 62(22): 224211.doi:10.7498/aps.62.224211
[7]	黄俊, 孙顺凯, 肖德龙, 丁宁, 宁成, 张扬, 薛创.丝阵Z箍缩早期消融等离子体动力学的二维数值模拟研究. 必威体育下载 , 2010, 59(9): 6351-6361.doi:10.7498/aps.59.6351
[8]	周翔, 张萱, 刘爱芬, 曾祥华.FC(O)O2的结构及其自由基与NO反应的微观机理研究. 必威体育下载 , 2010, 59(7): 5128-5134.doi:10.7498/aps.59.5128
[9]	文书堂, 张红卫, 张丽伟, 陈改荣, 卢景霄.SiH4/H2等离子体气相生长硅薄膜的动力学模型. 必威体育下载 , 2010, 59(7): 4901-4910.doi:10.7498/aps.59.4901
[10]	施德恒, 张金平, 孙金锋, 刘玉芳, 朱遵略.用耦合簇理论及相关一致五重基研究SiH2(X1A1)自由基的解析势能函数. 必威体育下载 , 2009, 58(8): 5329-5334.doi:10.7498/aps.58.5329
[11]	冯兴, 朱正和, 刘晓亚, 杨向东, 黄玮.SiH2体系的分子反应动力学. 必威体育下载 , 2009, 58(12): 8217-8223.doi:10.7498/aps.58.8217
[12]	赵江, 崔磊, 曾祥华, 徐秀莲.FC(O)O自由基与NO反应机理的理论研究. 必威体育下载 , 2008, 57(11): 7349-7353.doi:10.7498/aps.57.7349
[13]	祁菁, 金晶, 胡海龙, 高平奇, 袁保和, 贺德衍.H2对Ar稀释SiH4等离子体CVD制备多晶硅薄膜的影响. 必威体育下载 , 2006, 55(11): 5959-5963.doi:10.7498/aps.55.5959
[14]	苍宇, 王薇, 张杰.对超短脉冲激光与固体密度等离子体相互作用动力学过程的研究. 必威体育下载 , 2001, 50(9): 1742-1746.doi:10.7498/aps.50.1742
[15]	夏江帆, 张军, 张杰.用激光等离子体实验对天体物理动力学过程进行模拟的可行性研究. 必威体育下载 , 2001, 50(5): 994-1000.doi:10.7498/aps.50.994
[16]	盛政明, 徐至展, 马锦秀, 余玮.圆偏振强激光场下等离子体动力学方程及输运. 必威体育下载 , 1994, 43(1): 37-46.doi:10.7498/aps.43.37
[17]	于威, 李晓苇, 韩理, 张连水, 傅广生.脉冲红外激光诱发SiH4+CH4解离动力学研究. 必威体育下载 , 1994, 43(11): 1889-1898.doi:10.7498/aps.43.1889
[18]	李晓苇, 傅广生, 韩理, 张连水, 吕福润, 王金国.SiH4激光等离子体内H谱线的线型研究. 必威体育下载 , 1993, 42(1): 58-65.doi:10.7498/aps.42.58
[19]	刘祖黎, 宋文栋, 魏合林, 李再光.直流辉光放电等离子体轴向动力学过程的研究. 必威体育下载 , 1992, 41(1): 56-61.doi:10.7498/aps.41.56
[20]	陆庆正, 丁传凡, 高建谧, 孔繁敖.SiH4紫外多光子电离光谱的转动分析. 必威体育下载 , 1991, 40(1): 39-42.doi:10.7498/aps.40.39

计量

文章访问数:6980
PDF下载量:618
被引次数:0

搜索

留言板

A STUDY ON REACTION KINETICS OF THE RADICALS PRODUCED IN THE LASER-INDUCED SILANE PLASMA

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

A STUDY ON REACTION KINETICS OF THE RADICALS PRODUCED IN THE LASER-INDUCED SILANE PLASMA

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们