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摘要

使用X射线衍射技术和高分辨率电子显微镜(HREM),分析研究了在非晶硅薄膜由非晶相向微晶相转化过程中其网络结构的变化特征,由此,给人们一个直观的信息,并加深对非晶硅薄膜微结构的认识。
Abstract
We have studied the fine procedure and characters of the microstructures for the a-Si:H and a-Si films, which have been changed from amorphous phase to microcrystalline phase, by means of Rigaku 3015 type X-ray diffraction spectroscope and high resolution electronic microscopy (HREM). This research provides some intuitive information for the transformation process, in which amorphous silicon filims change over from amorphous phase to micro-crystalline phase, and further deepens the understanding for the microstructures of amorphous silicon films.
作者及机构信息
何宇亮²,

周衡南²,

刘湘娜²,

程光煦¹,

余是东¹

基金项目:国家自然科学基金资助的课题
Authors and contacts
HE YU-LIANG²,

ZHOU HENG-NAN²,

LIU XIANG-NA²,

CHENG GUANG-XU¹,

YU SHI-DONG¹
参考文献

施引文献

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[19]	郭可信, 吴玉琨, 梁金忠, 常昕.非晶Ni-P合金晶化过程中生成的六角亚稳相(Ⅱ)——孪晶生长关系. 必威体育下载 , 1983, 32(7): 939-946.doi:10.7498/aps.32.939
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