- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

用Si分子束外延技术在GaP(111)衬底上生长Si时,发现Si外延层表面存在P偏析,根据俄歇电子能谱(AES),反射式高能电子衍射(RHEED)在一系列不同实验条件下的结果,本文对P偏析产生的机制、外延层表面再构与P偏析之间的关系作了分析和讨论,得出偏析主要来自外延Si原子与衬底P元素之间的相互交换。在此基础上提出了一种能有效地抑制P偏析同时又改善外延层质量的新的Si/GaP(111)异质结制备方法。
Abstract
The segregation of P from substrate to the surface of Si epilayer has been observed during MBE preparation of Si/GaP (111) heterostructure. In this paper, the mechanism of P segregation and relationship between the surface reconstruction and segregation are discussed, according to the results of AES and RHEED under different experimental conditions. The conclusion is that the segregation of P was caused by substituting P atom with Si deposited atom during growth. From this, a new method for eliminating the segregation of P efficiently is proposed.
作者及机构信息
蒋维栋,

樊永良,

盛篪,

俞鸣人

1.

基金项目:国家自然科学基金;国家教育委员会博士点基金资助的课题
Authors and contacts
JIANG WEI-DONG,

FAN YONG-LIANG,

SHENG CHI,

YU MING-REN

1.
参考文献

施引文献

[1]	张马淋, 葛剑峰, 段明超, 姚钢, 刘志龙, 管丹丹, 李耀义, 钱冬, 刘灿华, 贾金锋.SrTiO3(001)衬底上多层FeSe薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2016, 65(12): 127401.doi:10.7498/aps.65.127401
[2]	蔚翠, 李佳, 刘庆彬, 蔡树军, 冯志红.Si面4H-SiC衬底上外延石墨烯近平衡态制备. 必威体育下载 , 2014, 63(3): 038102.doi:10.7498/aps.63.038102
[3]	韦庞, 李康, 冯硝, 欧云波, 张立果, 王立莉, 何珂, 马旭村, 薛其坤.在预刻蚀的衬底上通过分子束外延直接生长出拓扑绝缘体薄膜的微器件. 必威体育下载 , 2014, 63(2): 027303.doi:10.7498/aps.63.027303
[4]	王萌, 欧云波, 李坊森, 张文号, 汤辰佳, 王立莉, 薛其坤, 马旭村.SrTiO3(001)衬底上单层FeSe超导薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2014, 63(2): 027401.doi:10.7498/aps.63.027401
[5]	苏少坚, 张东亮, 张广泽, 薛春来, 成步文, 王启明.Ge(001)衬底上分子束外延生长高质量的Ge1-xSnx合金. 必威体育下载 , 2013, 62(5): 058101.doi:10.7498/aps.62.058101
[6]	苏少坚, 汪巍, 张广泽, 胡炜玄, 白安琪, 薛春来, 左玉华, 成步文, 王启明.Si(001)衬底上分子束外延生长Ge0.975Sn0.025合金薄膜. 必威体育下载 , 2011, 60(2): 028101.doi:10.7498/aps.60.028101
[7]	张燕辉, 陈平平, 李天信, 殷豪.GaAs(001)衬底上分子束外延生长InNSb单晶薄膜. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8026-8030.doi:10.7498/aps.59.8026
[8]	张营堂, 何萌, 陈子瑜, 吕惠宾.用激光分子束外延在玻璃衬底上生长La0.67Sr0.33MnO3薄膜. 必威体育下载 , 2009, 58(3): 2002-2004.doi:10.7498/aps.58.2002
[9]	何萌, 刘国珍, 仇杰, 邢杰, 吕惠宾.用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜. 必威体育下载 , 2008, 57(2): 1236-1240.doi:10.7498/aps.57.1236
[10]	延凤平, 郑凯, 王琳, 李一凡, 龚桃荣, 简水生, 尾形健一, 小池一步, 佐佐诚彦, 井上正崇, 矢野满明.分子束外延法在Sapphire衬底上生长的Zn1－xMgxO薄膜折射率及厚度的测试. 必威体育下载 , 2007, 56(7): 4127-4131.doi:10.7498/aps.56.4127
[11]	刘洪飞, 陈弘, 李志强, 万里, 黄绮, 周均铭, 罗毅, 韩英军.GaAs(001)衬底上分子束外延生长立方和六方GaN薄膜. 必威体育下载 , 2000, 49(6): 1132-1135.doi:10.7498/aps.49.1132
[12]	康健, 肖长永, 熊艳云, 冯克安, 林彰达.Si衬底上异质外延金刚石的初始阶段原子H的作用及其界面结构. 必威体育下载 , 1999, 48(11): 2104-2109.doi:10.7498/aps.48.2104
[13]	张亚雄, 李安平, 陈开茅, 张伯蕊, 孙允希, 秦国刚, 马振昌, 宗婉华.n+-Si与p-Si衬底上含纳米硅的SiO2膜电致发光. 必威体育下载 , 1997, 46(5): 1011-1014.doi:10.7498/aps.46.1011
[14]	崔堑, 黄绮, 陈弘, 周均铭.高能电子衍射研究H钝化偏角Si衬底上Si,GexSi1-x的分子束外延生长模式. 必威体育下载 , 1996, 45(4): 647-654.doi:10.7498/aps.45.647
[15]	王杰, 吕宏强, 刘咏, 王迅, 姚文华, 沈孝良.GaAs(100)衬底上ZnSe薄膜的热壁束外延生长. 必威体育下载 , 1992, 41(11): 1856-1861.doi:10.7498/aps.41.1856
[16]	胡福义, 李爱珍.分子束外延GaAs/Si材料的喇曼散射研究. 必威体育下载 , 1991, 40(6): 962-968.doi:10.7498/aps.40.962
[17]	陈可明, 金高龙, 盛篪, 周国良, 蒋维栋, 张翔九, 俞鸣人.Si衬底上分子束外延Ge,Si时的反射式高能电子衍射强度振荡观察. 必威体育下载 , 1990, 39(2): 237-244.doi:10.7498/aps.39.237
[18]	金高龙, 陈可明, 盛篪, 周国良, 蒋维栋, 张翔九.Si(111)分子束外延生长时RHEED强度振荡的观察. 必威体育下载 , 1989, 38(3): 394-398.doi:10.7498/aps.38.394
[19]	邓容平；蒋维栋；孙恒慧.分子束外延生长Si/GaP(III)异质结的界面特性. 必威体育下载 , 1989, 38(8): 1265-1270.doi:10.7498/aps.38.1265
[20]	周国良, 陈可明, 田亮光.在Si衬底上用分子束外延低温生长Ge薄膜. 必威体育下载 , 1988, 37(10): 1607-1612.doi:10.7498/aps.37.1607

计量

文章访问数:6895
PDF下载量:471
被引次数:0

搜索

留言板

ELIMINATION OF P SEGREGATION DURING MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH OF Si ON GaP (111) SUBSTRATE

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

ELIMINATION OF P SEGREGATION DURING MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH OF Si ON GaP (111) SUBSTRATE

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们