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本文报道7—8MeVl4+离子弹性反冲法(ERD)分析固体中H的深度分布。实验和理论分析表明,近表面处的深度分辨率为200—300?。探讨了散射几何条件和入射能量等的最佳化问题。比较了同一样品用F离子ERD法与6.4MeV1H(19F,αγ)16O核反应法(NRA)的测试结果。表明F离子ERD法是快速(5—10min)、低辐照(5—10μC)、深度分辨和灵敏度较好的分析固体中H的深度分布的一种方法。
Abstract
Depth profiling of hydrogen in solids has been performed by Elastic Recoil Detection (ERD) with multicharged F ions at a 1.7 MV Tandem accelerator. Both experimental and theoretical analysis show the depth resolution of about 200-300 ? in the near-surface regions of solids. The optimization of the experimental conditions such as scattering geometry and incident beam energy are discussed. The comparison of ERD with multicharged F ions and 1H(19F,αγ)16O resonance reaction at 6.4 MeV for the same samples demonstrated that hydrogen profiling by ERD with F ions is a fast and economic method with low radiation damage and perfect depth resolution.
作者及机构信息
刘家瑞¹,

朱沛然¹,

封爱国¹,

李大万²

基金项目:国家自然科学基金
Authors and contacts
LIU JIA-RUI¹,

ZHU PEI-RAN¹,

FENG AI-GUO¹,

LI DA-WAN²
参考文献

施引文献

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