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本文中提出了一种测量金属-半导体欧姆接触比接触电阻的新方法-圆环结构测试法。导出了适用于半无限大和有一定厚度的半导体材料的比接触电阻表达式,用此方法进行实验测量和计算,所得结果与文献结果符合得很好。
Abstract
In this paper, a method to determine the specific contact resistance of metal-semiconductor contact——circular ring structure method is presented. The equations for specific contact resistance which are used to both the definite thick and semiinfinite samples were derived. Some measurements and calculations have been carried out, the results are in good agreement with chose of methods published in the literature.
作者及机构信息
朱德光,

吴鼎芬

1.
Authors and contacts
ZHU DE-GUANG,

WU DING-FEN

1.
参考文献

施引文献

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