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赵明亮, 邢思雨, 唐雯, 张钰如, 高飞, 王友年

Three-dimensional fluid simulation of a planar coil inductively coupled argon plasma source for semiconductor processes

Zhao Ming-Liang, Xing Si-Yu, Tang Wen, Zhang Yu-Ru, Gao Fei†, Wang You-Nian
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  • 上网日期:2024-09-13

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