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高剑英, 李玉阁, 雷明凯

Plasma characteristics in deep oscillation magnetron sputtering of chromium target

Gao Jian-Ying, Li Yu-Ge, Lei Ming-Kai
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出版历程
  • 收稿日期:2024-03-14
  • 修回日期:2024-06-27
  • 上网日期:2024-07-13
  • 刊出日期:2024-08-20

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