\begin{document}${\rm{Sn}}^{6+}\text{-}{\rm{Sn}}^{14+}$\end{document}离子的能级和辐射跃迁振子强度等基本原子参数. 针对波长在13.5 nm附近的4d-4f和4p-4d跃迁系, 重点考虑了4dm-4f m(m = 1, 2, 3, 4)和4pn-4dn(n = 1, 2, 3)的电子关联效应. 在大规模组态相互作用计算中, 每种电荷态离子的精细能级数目约为20万. 对较强的吸收谱线(振子强度大于0.01), 其长度和速度表示的相对差异为20%—30%. 基于精密原子参数, 计算了Sn等离子体在30 eV, 0.01 g/cm3条件下的透射谱, 与实验结果基本符合. 系统计算了温度16—30 eV, 密度0.0001—0.1 g/cm3条件下的Sn等离子体辐射不透明度和发射光谱, 分析了极紫外(extreme ultraviolet, EUV)光谱随温度和密度的变化规律. 研究表明温度一定时, 密度增大会使得13.5 nm附近的辐射不透明度和发射谱包络增宽. 而密度一定时, 随着温度的增加, 辐射不透明度和发射谱在13.5 nm附近存在明显的窄化效应. 本文工作有助于EUV光刻光源的设计和研究."> - 必威体育下载

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高城, 刘彦鹏, 严冠鹏, 闫杰, 陈小棋, 侯永, 靳奉涛, 吴建华, 曾交龙, 袁建民

Theoretical investigation on extreme ultraviolet radiative opacity and emissivity of Sn plasmas at local-thermodynamic equilibrium

Gao Cheng, Liu Yan-Peng, Yan Guan-Peng, Yan Jie, Chen Xiao-Qi, Hou Yong, Jin Feng-Tao, Wu Jian-Hua, Zeng Jiao-Long, Yuan Jian-Min
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出版历程
  • 收稿日期:2023-03-26
  • 修回日期:2023-05-04
  • 上网日期:2023-06-20
  • 刊出日期:2023-09-20

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