- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

采用溶液法制备了铟锌锡氧化物(indium-zinc-tin-oxide, IZTO)有源层薄膜和铪铝氧化物(hafnium-aluminum oxide, HAO)绝缘层薄膜, 并成功应用于背沟道刻蚀结构(back-channel etched, BCE)IZTO薄膜晶体管(thin-film transistor, TFT)像素阵列. 利用N ₂O等离子体表面处理钝化IZTO缺陷态, 提升溶液法像素级IZTO TFT器件性能, 特别是光照负偏压稳定性. 结果表明, 经N ₂O等离子体处理后, 器件饱和迁移率提升了接近80%, 达到51.52 cm ²·V ^–1·s ^–1. 特别是3600 s光照负偏压稳定性从–0.3 V提升到–0.1 V, 满足显示驱动的要求. 这进一步说明经N ₂O等离子体处理后能够得到良好的溶液法像素级IZTO TFT阵列.

关键词:

Abstract

In this paper, we fabricate a back channel etched structure thin film transistor (TFT) pixel array with hafnium-aluminum oxide dielectric and indium-zinc-tin-oxide (IZTO) semiconductor using a solution process. The electrical characteristics of IZTO TFT are modified by N ₂O plasma treatment. In comparison with the subthreshold swing and saturation mobility of the device untreated by plasma , the subthreshold swing decreases from 204 to 137 mV·dec ^–1, and the saturation mobility increases from 29.12 to 51.52 cm ²·V ^–1·s ^–1. Improvement in the mobility and the subthreshold swing (SS) demonstrate that interface states may be passivated by reactive O radicals that are generated by N ₂O plasma, which is confirmed by the result of X-ray photoelectron spectrum analysis. In addition, the stability of negative bias illumination stress (NBIS) shift is only 0.1V for 3600 s with an illumination intensity of 10000 lux. This result indicates that its superior stability meets the requirements for the display driver. Therefore, N ₂O plasma treatment is verified to be an effective method to improve device performance and light stability for IZTO TFT pixel array.

Keywords:

作者及机构信息

1.
2.

通信作者:李喜峰,lixifeng@shu.edu.cn

基金项目:国家自然科学基金(批准号: 62174105, 61674101)、上海市学术/技术研究负责人计划(批准号: 18XD1424400)、上海市教育发展基金会和上海市教育委员会(批准号: 18SG38)资助的课题.

Authors and contacts

1.
2.

Corresponding author:Li Xi-Feng,lixifeng@shu.edu.cn

Funds:Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 62174105, 61674101), the Program of Academic/Technology Research Leader of Shanghai, China (Grant No. 18XD1424400), the Shanghai Education Development Foundation and Shanghai Municipal Education Commission, CHina (Grant No. 18SG38).

文章全文: translate this paragraph

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
[31]
[32]
[33]

施引文献

下载: 全尺寸图片幻灯片

	阈值电压/ V	迁移率/ (cm²·V^–1·s^–1)	亚阈值摆幅/ (mV·dec^–1)	开关比
Untreated	–0.5	29.12	204	1.1×10⁷
Treated	0.1	51.52	137	2.3×10⁷

下载: 导出CSV

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
[31]
[32]
[33]

[1]	刘思雯, 任立志, 金博文, 宋欣, 吴聪聪.溶液法制备二维钙钛矿层提高甲脒碘化铅钙钛矿太阳能电池稳定性. 必威体育下载 , 2024, 73(6): 068801.doi:10.7498/aps.73.20231678
[2]	张雪, KimBokyung, LeeHyeonju, ParkJaehoon.低温快速制备基于溶液工艺的高性能氧化铟薄膜及晶体管. 必威体育下载 , 2024, 73(9): 096802.doi:10.7498/aps.73.20240082
[3]	况丹, 徐爽, 史大为, 郭建, 喻志农.基于铝纳米颗粒修饰的非晶氧化镓薄膜日盲紫外探测器. 必威体育下载 , 2023, 72(3): 038501.doi:10.7498/aps.72.20221476
[4]	王基铭, 陈科, 谢伟广, 时婷婷, 刘彭义, 郑毅帆, 朱瑞.溶液法制备全无机钙钛矿太阳能电池的研究进展. 必威体育下载 , 2019, 68(15): 158806.doi:10.7498/aps.68.20190355
[5]	张世玉, 喻志农, 程锦, 吴德龙, 栗旭阳, 薛唯.退火温度和Ga含量对溶液法制备InGaZnO薄膜晶体管性能的影响. 必威体育下载 , 2016, 65(12): 128502.doi:10.7498/aps.65.128502
[6]	金蓉, 谌晓洪.VOxH2O (x= 15)团簇的结构及稳定性研究. 必威体育下载 , 2012, 61(9): 093103.doi:10.7498/aps.61.093103
[7]	高潭华, 吴顺情, 胡春华, 朱梓忠.二维BC2 N薄片的结构稳定性和电子性质. 必威体育下载 , 2011, 60(12): 127305.doi:10.7498/aps.60.127305
[8]	罗翀, 孟志国, 王烁, 熊绍珍.溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜. 必威体育下载 , 2009, 58(9): 6560-6565.doi:10.7498/aps.58.6560
[9]	郭子政, 宣志国, 张院生, 安彩虹.铁磁纳米阵列膜温度稳定性的损伤扩散研究. 必威体育下载 , 2008, 57(10): 6571-6576.doi:10.7498/aps.57.6571
[10]	李鹤, 李学东, 李娟, 吴春亚, 孟志国, 熊绍珍, 张丽珠.表面修饰改善溶液法金属诱导晶化薄膜稳定性与均匀性研究. 必威体育下载 , 2008, 57(4): 2476-2480.doi:10.7498/aps.57.2476
[11]	杨建宋, 李宝兴.砷化镓离子团簇的稳定性研究. 必威体育下载 , 2006, 55(12): 6562-6569.doi:10.7498/aps.55.6562
[12]	萨宁, 康晋锋, 杨红, 刘晓彦, 张兴, 韩汝琦.具有HfN/HfO2栅结构的p型MOSFET中的负偏置-温度不稳定性研究. 必威体育下载 , 2006, 55(3): 1419-1423.doi:10.7498/aps.55.1419
[13]	祝祖送, 林璇英, 余云鹏, 林揆训, 邱桂明, 黄锐, 余楚迎.用SiCl4/H2气源沉积多晶硅薄膜光照稳定性的研究. 必威体育下载 , 2005, 54(8): 3805-3809.doi:10.7498/aps.54.3805
[14]	霍崇儒, 朱振和, 葛培文, 陈冬.微重力下溶液法晶体生长模型中晶体生长界面稳定性的研究. 必威体育下载 , 2001, 50(3): 377-382.doi:10.7498/aps.50.377
[15]	李权, 刘晓亚, 王红艳, 朱正和, 傅依备, 汪小琳, 孙颖.PuHn+(n=1,2,3)分子离子的势能函数与稳定性. 必威体育下载 , 2000, 49(12): 2347-2351.doi:10.7498/aps.49.2347
[16]	王合英, 姜恩永, 马振伟, 何元金.Ti掺杂对α″-Fe16N2相稳定性的影响. 必威体育下载 , 1998, 47(11): 1912-1916.doi:10.7498/aps.47.1912
[17]	周玉美, 吴京生.高β等离子体的离子-离子束不稳定性. 必威体育下载 , 1983, 32(10): 1319-1322.doi:10.7498/aps.32.1319
[18]	霍裕平.等离子体的静态稳定性. 必威体育下载 , 1977, 26(2): 149-154.doi:10.7498/aps.26.149
[19]	碘酸锂晶体研究小组.α-和β-碘酸锂晶体在水溶液中的形成条件和相对稳定性. 必威体育下载 , 1975, 24(2): 91-96.doi:10.7498/aps.24.91
[20]	石长和.等离子射流的磁流不稳定性. 必威体育下载 , 1965, 21(9): 1700-1704.doi:10.7498/aps.21.1700

计量

文章访问数:3926
PDF下载量:81
被引次数:0

搜索

留言板