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    崔岁寒, 郭宇翔, 陈秋皓, 金正, 杨超, 吴忠灿, 苏雄宇, 马正永, 田修波, 吴忠振

    Working principle and layout logic of closed magnetic field in sputtering

    Cui Sui-Han, Guo Yu-Xiang, Chen Qiu-Hao, Jin Zheng, Yang Chao, Wu Zhong-Can, Su Xiong-Yu, Ma Zheng-Yong, Tian Xiu-Bo, Wu Zhong-Zhen
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    出版历程
    • 收稿日期:2021-09-24
    • 修回日期:2021-10-13
    • 上网日期:2022-02-25
    • 刊出日期:2022-03-05

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