报道了1.5—20 keV/ q的高电荷态 $ {\rm{O}}^{q+} $ ( q= 3—7)离子与Al表面相互作用发射的O原子的特征X射线谱. 分析表明, 对于 ${\rm{O}} ^{q+} $ ( q= 3—6)离子入射时发射的X射线, 是由于离子进入表面后与Al原子发生紧密碰撞导致的; 而 ${\rm{O}} ^{7+} $ 离子入射时的X射线, 主要来自于“空心原子”的衰变. 在动能相等的条件下, 存在K壳层空穴的 $ {\rm{O}}^{7+} $ 离子的X射线产额相较于 $ {\rm{O}}^{q+} $ ( q= 3—6)离子高一个数量级, 不存在K壳层空穴的 ${\rm{O}} ^{6+} $ 离子的X射线产额也要高于 $ {\rm{O}}^{3+} $ , ${\rm{O}} ^{5+} $ 离子. 总体来说, X射线产额以及电离截面与入射离子的初始电子组态有关, 且随离子入射动能的增加而增加. 根据半经典两体碰撞模型, 本文估算了入射离子与靶原子相互作用时分别产生O和Al的 ${\rm K}_{\text {α}} $ -X射线的动能阈值. 对于入射动能低于动能阈值且电子组态为 $1{\rm{s}} ^{2} $ 的 $ {\rm{O}}^{6+} $ 离子与样品表面相互作用, 可能存在多电子激发使 ${\rm{O}} ^{6+} $ 离子产生K壳层空穴.