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    操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 卢曼婷, 辛煜

    Axial diagnosis of radio-frequency capacitively coupled Ar/O2plasma

    Cao Li-Yang, Ma Xiao-Ping, Deng Li-Li, Lu Man-Ting, Xin Yu
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    出版历程
    • 收稿日期:2020-12-12
    • 修回日期:2021-01-24
    • 上网日期:2021-05-27
    • 刊出日期:2021-06-05

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