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摘要

研究了鞘层中电子和负离子的反射运动对碰撞电负性磁鞘玻姆判据和鞘层结构的影响. 通过理论推导得到了考虑鞘层中电子和负离子的反射运动时鞘层玻姆判据表达式, 并通过数值模拟得到了电子和负离子采用玻尔兹曼模型和反射运动模型时离子马赫数的下限随参数的变化曲线以及鞘层中带电粒子密度的分布曲线. 结果表明, 电子和负离子的反射运动模型和玻尔兹曼模型离子马赫数的上限完全相同, 下限表达式不同, 反射运动模型中下限还与基板电势有关, 且随着基板电势值的增加而增大, 达到与玻尔兹曼分布中相同值后保持不变, 随着鞘边负离子浓度和温度的不同达到最大值的速度不同; 离子马赫数的下限在玻尔兹曼和反射运动模型中都随鞘边负离子浓度的增加和温度的降低而减小, 只是在反射运动模型中的最大值要小; 两种模型中离子马赫数的下限都随鞘边电场的增加而增加, 但在玻尔兹曼模型中增加得更快最终值更大; 两种模型离子马赫数的下限都随碰撞参数或磁场角度的增加而降低, 但在玻尔兹曼模型中降低更快, 随着碰撞参数或者磁场角度的增加两种模型中离子马赫数的下限趋于一致; 当基板电势值较小时, 电子和负离子的反射运动对鞘层结构影响较大, 当基板电势值较大时电子和负离子反射运动对鞘层中带电粒子密度分布的影响很小.

关键词:

Abstract

The effects of the reflection of electrons and negative ions in magnetized electronegative and collisional plasma sheath on the Bohm criterion and the sheath structure are numerically investigated. The Bohm criterion expression of the sheath with considering the reflection of electrons and negative ions is derived theoretically. The lower limit of ion Mach number versus parameters and the distribution curve of charged particle density in sheath are obtained by numerical simulation when Boltzmannian model and reflection model are applied to electrons and negative ions. The results show that the upper limit of ion Mach number is identical to that of Boltzmannian model, but their lower limit expressions are different. The lower limit of ion Mach number in the reflection model is also related to the wall potential, and with the increase of the wall potential, ion Mach number first increases and then remains unchanged after reaching the same value as that from Boltzmannian model, and the speeds of their reaching the maximum values are different due to the difference in sheath edge negative ion concentration and temperature. In both Boltzmannian and the reflection model, the lower limit of the ion Mach number decreases with the concentration of the negative ion at the sheath edge increasing and the negative ion temperature decreasing, but the maximum value is smaller in the reflection model. The lower limit of ion Mach number for each of the two models increases with sheath edge electric field increasing, but increases faster and the final value is larger in Boltzmannian model. The lower limit of ion Mach number for each of the two models decreases with the increase of collision parameter or magnetic field angle, but decreases faster in Boltzmannian model with the increase of collision parameter or magnetic field angle. The lower limits of ion Mach number in the two models tend to be the same with the increase of magnetic field angle. When the wall potential is small, the reflection of electrons and negative ions has a great influence on the sheath structure. When the wall potential is large, the reflection of electrons and negative ions have little effect on the density distribution of charged particles in the sheath.

Keywords:

reflection of electrons and negative ions/
magnetized electronegative sheath/
Bohm criterion/
sheath structure

作者及机构信息

刘惠平,
邹秀

通信作者:刘惠平,lhp@djtu.edu.cn

基金项目:辽宁省教育厅基本科研项目(批准号: JDL2017012)和国家自然科学基金(批准号: 11404049)资助的课题

Authors and contacts

Corresponding author:Liu Hui-Ping,lhp@djtu.edu.cn

Funds:Project supported by Basic Research Foundation of Department of Education of Liaoning Province, China (Grant No. JDL2017012) and the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 11404049)

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