\begin{document}$\left[ {1\bar 100} \right]$\end{document}\begin{document}$\left[ {11\bar 20} \right]$\end{document}方向4H-SiC(0001)邻晶面上台阶形貌演化过程, 并且利用Burton-Cabera-Frank理论分析了其形成机理. 在蒙特卡罗模型中, 首先建立了一个计算4H-SiC晶体生长过程的晶格网格, 用来确定Si原子和C原子晶格坐标以及联系它们之间的化学键; 其次, 考虑了原子在台阶面上的吸附、扩散, 原子在台阶边上的附着、分离以及传输等过程; 最后, 为了更加详细地捕捉微观原子在晶体表面的动力学过程信息, 该模型把Si原子和C原子分别对待, 同时还考虑了能量势垒对吸附原子影响. 模拟结果表明: 在偏向\begin{document}$\left[ {1\bar 100} \right]$\end{document}方向的4H-SiC(0001)邻晶面, 有一个晶胞高度的聚并台阶形貌形成, 而对于偏向\begin{document}$\left[ {11\bar 20} \right]$\end{document}方向的邻晶面, 出现了半个晶胞高度的聚并台阶形貌, 该模拟结果与实验中观察到的结果相符合. 最后, 利用Burton-Cabera-Frank理论对聚并台阶形貌演化机理进行了讨论."> - 必威体育下载

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    李源, 石爱红, 陈国玉, 顾秉栋

    Formation of step bunching on 4H-SiC (0001) surfaces based on kinetic Monte Carlo method

    Li Yuan, Shi Ai-Hong, Chen Guo-Yu, Gu Bing-Dong
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    出版历程
    • 收稿日期:2018-11-21
    • 修回日期:2019-01-23
    • 上网日期:2019-03-23
    • 刊出日期:2019-04-05

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