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    蒋相站, 刘永新, 毕振华, 陆文琪, 王友年

    Radial density uniformity of dual frequency capacitively coupled plasma

    Jiang Xiang-Zhan, Liu Yong-Xin, Bi Zhen-Hua, Lu Wen-Qi, Wang You-Nian
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    出版历程
    • 收稿日期:2010-12-14
    • 修回日期:2011-02-04
    • 刊出日期:2012-01-05

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