- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

在ITO玻璃基底上用射频磁控溅射技术生长氧化锌锡(ZnSnO)沟道有源层、用PECVD生长SiO2薄膜作为薄膜晶体管的栅绝缘层研制了薄膜晶体管(TFT), 器件的场效应迁移率最高达到μn=9.1 cm2/(V ·s),阈值电压-2 V,电流开关比为104.

关键词:

Thin film transistors with zinc tin oxide as the active channel layer were fabricated on ITO glass by rf magnetron sputtering. SiO2 gate dielectric was grown using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). These devices operate with a maximum field effect mobility of 9.1 cm2/V ·s, threshold voltage of -2 V, and current on/off ratio of 104.

Keywords:

作者及机构信息

1.

基金项目:国家自然科学基金(批准号:10974174), 国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2011CB925603),浙江省自然科学基金(批准号:Z6100117, Y4080171)资助的课题.

Authors and contacts

1.

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]

施引文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]

[1]	赵泽贤, 徐萌, 彭聪, 张涵, 陈龙龙, 张建华, 李喜峰.喷墨打印高迁移率铟锌锡氧化物薄膜晶体管. 必威体育下载 , 2024, 73(12): 128501.doi:10.7498/aps.73.20240361
[2]	徐华, 刘京栋, 蔡炜, 李民, 徐苗, 陶洪, 邹建华, 彭俊彪.N₂O处理对背沟刻蚀金属氧化物薄膜晶体管性能的影响. 必威体育下载 , 2022, 71(5): 058503.doi:10.7498/aps.71.20211350
[3]	朱宇博, 徐华, 李民, 徐苗, 彭俊彪.镨掺杂铟镓氧化物薄膜晶体管的低频噪声特性分析. 必威体育下载 , 2021, 70(16): 168501.doi:10.7498/aps.70.20210368
[4]	刘贤哲, 张旭, 陶洪, 黄健朗, 黄江夏, 陈艺涛, 袁炜健, 姚日晖, 宁洪龙, 彭俊彪.溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜及薄膜晶体管的研究进展. 必威体育下载 , 2020, 69(22): 228102.doi:10.7498/aps.69.20200653
[5]	邵龑, 丁士进.氢元素对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响. 必威体育下载 , 2018, 67(9): 098502.doi:10.7498/aps.67.20180074
[6]	覃婷, 黄生祥, 廖聪维, 于天宝, 罗衡, 刘胜, 邓联文.铟镓锌氧薄膜晶体管的悬浮栅效应研究. 必威体育下载 , 2018, 67(4): 047302.doi:10.7498/aps.67.20172325
[7]	兰林锋, 张鹏, 彭俊彪.氧化物薄膜晶体管研究进展. 必威体育下载 , 2016, 65(12): 128504.doi:10.7498/aps.65.128504
[8]	王静, 刘远, 刘玉荣, 吴为敬, 罗心月, 刘凯, 李斌, 恩云飞.铟锌氧化物薄膜晶体管局域态分布的提取方法. 必威体育下载 , 2016, 65(12): 128501.doi:10.7498/aps.65.128501
[9]	宁洪龙, 胡诗犇, 朱峰, 姚日晖, 徐苗, 邹建华, 陶洪, 徐瑞霞, 徐华, 王磊, 兰林锋, 彭俊彪.铜-钼源漏电极对非晶氧化铟镓锌薄膜晶体管性能的改善. 必威体育下载 , 2015, 64(12): 126103.doi:10.7498/aps.64.126103
[10]	朱乐永, 高娅娜, 张建华, 李喜峰.溶胶凝胶法制备以HfO2为绝缘层和ZITO为有源层的高迁移率薄膜晶体管. 必威体育下载 , 2015, 64(16): 168501.doi:10.7498/aps.64.168501
[11]	徐华, 兰林锋, 李民, 罗东向, 肖鹏, 林振国, 宁洪龙, 彭俊彪.源漏电极的制备对氧化物薄膜晶体管性能的影响. 必威体育下载 , 2014, 63(3): 038501.doi:10.7498/aps.63.038501
[12]	李帅帅, 梁朝旭, 王雪霞, 李延辉, 宋淑梅, 辛艳青, 杨田林.高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究. 必威体育下载 , 2013, 62(7): 077302.doi:10.7498/aps.62.077302
[13]	刘博智, 黎瑞锋, 宋凌云, 胡炼, 张兵坡, 陈勇跃, 吴剑钟, 毕刚, 王淼, 吴惠桢.氧化锌锡作为电子传输层的量子点发光二极管. 必威体育下载 , 2013, 62(15): 158504.doi:10.7498/aps.62.158504
[14]	赵孔胜, 轩瑞杰, 韩笑, 张耕铭.基于氧化铟锡的无结低电压薄膜晶体管. 必威体育下载 , 2012, 61(19): 197201.doi:10.7498/aps.61.197201
[15]	石巍巍, 李雯, 仪明东, 解令海, 韦玮, 黄维.基于栅绝缘层表面修饰的有机场效应晶体管迁移率的研究进展. 必威体育下载 , 2012, 61(22): 228502.doi:10.7498/aps.61.228502
[16]	孙钦军, 徐征, 赵谡玲, 张福俊, 高利岩, 田雪雁, 王永生.有机薄膜晶体管中接触效应的研究. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8125-8130.doi:10.7498/aps.59.8125
[17]	陈跃宁, 徐征, 赵谡玲, 孙钦军, 尹飞飞, 董宇航.最小二乘拟合计算有机薄膜晶体管迁移率的研究. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8113-8117.doi:10.7498/aps.59.8113
[18]	徐天宁, 吴惠桢, 张莹莹, 王雄, 朱夏明, 原子健.In2O3 透明薄膜晶体管的制备及其电学性能的研究. 必威体育下载 , 2010, 59(7): 5018-5022.doi:10.7498/aps.59.5018
[19]	袁广才, 徐征, 赵谡玲, 张福俊, 许娜, 孙钦军, 徐叙瑢.低栅极电压控制下带有phenyltrimethoxysilane单分子自组装层的有机薄膜晶体管场效应特性研究. 必威体育下载 , 2009, 58(7): 4941-4947.doi:10.7498/aps.58.4941
[20]	刘玉荣, 王智欣, 虞佳乐, 徐海红.高迁移率聚合物薄膜晶体管. 必威体育下载 , 2009, 58(12): 8566-8570.doi:10.7498/aps.58.8566

计量

文章访问数:10985
PDF下载量:1002
被引次数:0

搜索

留言板

Study of zinc tin oxide thin-film transistor

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Study of zinc tin oxide thin-film transistor

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们