- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要
在分析沙漏状X射线组合折射透镜（X-ray compound refractive lens，XCRL）的折射聚焦理论的基础上，设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL，该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤，使制作更加简便易行.在10?keV单色X射线辐射下，对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试，结果表明，所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

关键词:
组合折射透镜/

背面曝光/

沙漏状/

SU-8
Abstract
Using back-mask exposure technology，the hourglass-shaped X-ray compound refractive lens （XCRL） was made. Firstly，the theory of the refractive focusing of the hourglass-shaped XCRL was analyzed. Then the hourglass-shaped XCRL was manufactured using back-mask exposure technology for the first time，which avoids two-time masking and reduces the transfer times of the figure. The refractive focusing performance of the lens was tested with 10?keV monochromatic X-ray. The experimental results indicated that it has good focusing performance in one dimension, which is in general coincident with the calculated results.

Keywords:
compound refractive lens （CRL）/

back-mask exposure/

hourglass shape/

SU-8
作者及机构信息
朱艳青³,

梁静秋²,

梁中翥²,

黄鑫华³,

乐孜纯¹,

伊福廷⁴,

侯凤杰⁴,

黄万霞⁴,

董文¹,

王维彪²,

王志立⁴,

崔乃迪³

基金项目:国家自然科学基金（批准号：60672014 ），北京正负电子对撞机国家实验室用户项目资助的课题.
Authors and contacts
Zhu Yan-Qing³,

Liang Jing-Qiu²,

Liang Zhong-Zhu²,

Huang Xin-Hua³,

Le Zi-Chun¹,

Yi Fu-Ting⁴,

Hou Feng-Jie⁴,

Huang Wan-Xia⁴,

Dong Wen¹,

Wang Wei-Biao²,

Wang Zhi-Li⁴,

Cui Nai-Di³
参考文献

施引文献

[1]	罗宇轩, 程用志, 陈浮, 罗辉, 李享成.基于沙漏形人工表面等离激元和交指电容结构的双频滤波器设计. 必威体育下载 , 2023, 72(4): 044101.doi:10.7498/aps.72.20221984
[2]	贺芷椰, 张彦东, 唐春华, 李军利, 李四维, 于斌.中继透镜分辨率在像素编码曝光成像中对图像重构质量的影响分析. 必威体育下载 , 2023, 72(2): 024201.doi:10.7498/aps.72.20221588
[3]	姚春霞, 何其利, 张锦, 付天宇, 吴朝, 王山峰, 黄万霞, 袁清习, 刘鹏, 王研, 张凯.免分析光栅一次曝光相位衬度成像方法. 必威体育下载 , 2021, 70(2): 028701.doi:10.7498/aps.70.20201170
[4]	孙宏祥, 方欣, 葛勇, 任旭东, 袁寿其.基于蜷曲空间结构的近零折射率声聚焦透镜. 必威体育下载 , 2017, 66(24): 244301.doi:10.7498/aps.66.244301
[5]	张昱, 韦艳芳, 彭政, 蒋亦民, 段文山, 厚美瑛.倾斜沙漏流与颗粒休止角研究. 必威体育下载 , 2016, 65(8): 084502.doi:10.7498/aps.65.084502
[6]	孟伟东, 孙丽存, 翟影, 杨瑞芬, 普小云.用液芯柱透镜快速测量液相扩散系数-折射率空间分布瞬态测量法. 必威体育下载 , 2015, 64(11): 114205.doi:10.7498/aps.64.114205
[7]	朱幸福, 梁斌明, 湛胜高, 陈家璧, 庄松林.负折射平板透镜景深特性仿真分析. 必威体育下载 , 2014, 63(13): 134202.doi:10.7498/aps.63.134202
[8]	付明磊, 乐孜纯, 周寒青, 张明, 全必胜, 王华, 毛成文, 王昌辉, 沈小燕.级联式平面抛物面型X射线组合折射透镜的设计与制作. 必威体育下载 , 2014, 63(19): 194103.doi:10.7498/aps.63.194103
[9]	韩伟静, 魏清泉, 李运涛, 周晓光, 俞育德.一种基于SU8聚合物的基因测序芯片. 必威体育下载 , 2013, 62(14): 148701.doi:10.7498/aps.62.148701
[10]	侯立凯, 任玉坤, 姜洪源.表面镀金SU-8微柱的低频电动旋转特征. 必威体育下载 , 2013, 62(20): 200702.doi:10.7498/aps.62.200702
[11]	许强, 苗润才, 张亚妮.六角点阵蜂窝状包层光子晶体光纤中的高双折射负色散效应. 必威体育下载 , 2012, 61(23): 234210.doi:10.7498/aps.61.234210
[12]	延凤平, 刘鹏, 谭中伟, 陶沛琳, 李琦, 彭万敬, 冯亭, 谭思宇.基于组合透镜与渐变折射率光纤改进激光器耦合效率的新方法. 必威体育下载 , 2012, 61(16): 164202.doi:10.7498/aps.61.164202
[13]	乐孜纯, 张明, 董文, 全必胜, 刘魏, 刘恺.制作工艺误差对X射线组合折射透镜聚焦性能影响研究. 必威体育下载 , 2010, 59(9): 6284-6289.doi:10.7498/aps.59.6284
[14]	乐孜纯, 董文, 刘魏, 张明, 梁静秋, 全必胜, 刘恺, 梁中翥, 朱佩平, 伊福廷, 黄万霞.抛物面型X射线组合折射透镜聚焦性能的理论与实验研究. 必威体育下载 , 2010, 59(3): 1977-1984.doi:10.7498/aps.59.1977
[15]	张波, 王智.二维空气孔型光子晶体负折射平板透镜的减反层. 必威体育下载 , 2007, 56(3): 1404-1408.doi:10.7498/aps.56.1404
[16]	王风, 刘德森, 蒋小平, 周素梅.离子交换引起的GRIN棒透镜大折射率差值分析. 必威体育下载 , 2007, 56(10): 5890-5894.doi:10.7498/aps.56.5890
[17]	徐宏来, 张鹏, 赵建林, 高瑀含, 叶知隽, 杨德兴.会聚激光扫描铌酸锂晶体写入光波导时的最佳曝光间距. 必威体育下载 , 2006, 55(6): 3100-3105.doi:10.7498/aps.55.3100
[18]	刘艳, 郑凯, 谭中伟, 李彬, 陈勇, 宁提纲, 简水生.非对称单侧曝光切趾使啁啾光纤光栅获得优化性能. 必威体育下载 , 2006, 55(11): 5859-5865.doi:10.7498/aps.55.5859
[19]	赖云忠, 梁九卿.哈密顿算符是SU(1,1)和SU(2)算子含时线性组合量子系统的时间演变及厄密不变量. 必威体育下载 , 1996, 45(5): 738-746.doi:10.7498/aps.45.738
[20]	朱重远.SU₆⁽¹⁾×SU₃⁽²⁾模型及SU₈模型中强子的次强质量分裂和新粒子的质量关系. 必威体育下载 , 1975, 24(5): 351-365.doi:10.7498/aps.24.351

计量

文章访问数:7766
PDF下载量:833
被引次数:0

搜索

留言板

Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Hourglass-shaped X-ray compound refractive lens made by back-mask exposure technology

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们