- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要
利用MOCVD方法在(0001)取向的蓝宝石衬底上实现了不同工艺条件下的高质量AlGaN材料的制备.得到了无裂纹的全组分AlxGa1-xN(0x<1)薄膜.通过XRD，SEM，AFM等测量分析方法系统研究了生长工艺参数对材料的结构质量、组分、厚度和表面形貌的影响.分析了不同生长工艺对AlGaN材料特性的影响.研制的高质量AlGaN材料在紫外探测器的DBR结构应用中得到比较好的特性.

关键词:
AlGaN/

DBR/

紫外探测器/

MOCVD
Abstract
High quality AlGaN materials used in the DBR structure of ultraviolet detector are grown under different growth conditions. The structure, composition and photographic characteristics are determined by XRD, SEM and AFM. The influence of the growth conditions on the characteristics of the AlGaN materials are discussed.The good performance of the DBR structure of ultraviolet detector is obtained.

Keywords:
AlGaN/

DBR/

ultraviolet detector/

MOCVD
作者及机构信息
谢自力,

张荣,

修向前,

韩平,

刘斌,

陈琳,

俞慧强,

江若琏,

施毅,

郑有炓

1.

基金项目:国家重点基础研究发展规划(973)(批准号：2006CB6049)，国家自然科学基金(批准号：60390072，60476030，60421003，60676057), 教育部重大项目(批准号：10416)，高等学校博士学科点专项科研基金(批准号：20050284004)和江苏省自然科学基金(批准号：BK2005210，BK2006126)资助的课题
Authors and contacts
Xie Zi-Li,

Zhang Rong,

Xiu Xiang-Qian,

Han Ping,

Liu Bin,

Chen Lin,

Yu Hui-Qiang,

Jiang Ruo-Lian,

Shi Yi,

Zheng You-Dou

1.
参考文献

施引文献

[1]	刘恒, 李晔, 杜梦超, 仇鹏, 何荧峰, 宋祎萌, 卫会云, 朱晓丽, 田丰, 彭铭曾, 郑新和.AlGaN合金的原子层沉积及其在量子点敏化太阳能电池的应用. 必威体育下载 , 2023, 72(13): 137701.doi:10.7498/aps.72.20230113
[2]	王顺利, 王亚超, 郭道友, 李超荣, 刘爱萍.NiO/GaN p-n结紫外探测器及自供电技术. 必威体育下载 , 2021, 70(12): 128502.doi:10.7498/aps.70.20210154
[3]	秦杰明, 曹建明, 蒋大勇.Mg0.57Zn0.43O合金薄膜生长及性能表征. 必威体育下载 , 2013, 62(13): 138101.doi:10.7498/aps.62.138101
[4]	孙沛, 李建军, 邓军, 韩军, 马凌云, 刘涛.(Al0.1Ga0.9)0.5In0.5P材料的MOCVD生长温度窗口研究. 必威体育下载 , 2013, 62(2): 026801.doi:10.7498/aps.62.026801
[5]	邢海英, 范广涵, 杨学林, 张国义.金属有机化学气相淀积技术制备GaMnN薄膜材料光学性质研究. 必威体育下载 , 2010, 59(1): 504-507.doi:10.7498/aps.59.504
[6]	张爽, 赵德刚, 刘宗顺, 朱建军, 张书明, 王玉田, 段俐宏, 刘文宝, 江德生, 杨辉.穿透型V形坑对GaN基p-i-n结构紫外探测器反向漏电的影响. 必威体育下载 , 2009, 58(11): 7952-7957.doi:10.7498/aps.58.7952
[7]	周梅, 赵德刚.p-GaN层厚度对GaN基p-i-n结构紫外探测器性能的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(7): 4570-4574.doi:10.7498/aps.57.4570
[8]	周梅, 常清英, 赵德刚.一种减小GaN基肖特基结构紫外探测器暗电流的方法. 必威体育下载 , 2008, 57(4): 2548-2553.doi:10.7498/aps.57.2548
[9]	李彤, 王怀兵, 刘建平, 牛南辉, 张念国, 邢艳辉, 韩军, 刘莹, 高国, 沈光地.Delta掺杂制备p-GaN薄膜及其电性能研究. 必威体育下载 , 2007, 56(2): 1036-1040.doi:10.7498/aps.56.1036
[10]	陈新亮, 薛俊明, 张德坤, 孙建, 任慧志, 赵颖, 耿新华.衬底温度对MOCVD法沉积ZnO透明导电薄膜的影响. 必威体育下载 , 2007, 56(3): 1563-1567.doi:10.7498/aps.56.1563
[11]	周梅, 左淑华, 赵德刚.一种新型GaN基肖特基结构紫外探测器. 必威体育下载 , 2007, 56(9): 5513-5517.doi:10.7498/aps.56.5513
[12]	彭冬生, 冯玉春, 王文欣, 刘晓峰, 施炜, 牛憨笨.一种外延生长高质量GaN薄膜的新方法. 必威体育下载 , 2006, 55(7): 3606-3610.doi:10.7498/aps.55.3606
[13]	游达, 许金通, 汤英文, 何政, 徐运华, 龚海梅.p型GaN/Al0.35Ga0.65N/GaN应变量子阱中二维空穴气的研究. 必威体育下载 , 2006, 55(12): 6600-6605.doi:10.7498/aps.55.6600
[14]	潘教青, 赵谦, 朱洪亮, 赵玲娟, 丁颖, 王宝军, 周帆, 王鲁峰, 王圩.长波长大应变InGaAs/InGaAsP分布反馈激光器的材料生长与器件制备. 必威体育下载 , 2006, 55(10): 5216-5220.doi:10.7498/aps.55.5216
[15]	王小东, 吴旭明, 王青, 曹玉莲, 何国荣, 谭满清.具有非均匀渐变界面DBR的光学特性分析. 必威体育下载 , 2006, 55(10): 4983-4986.doi:10.7498/aps.55.4983
[16]	袁洪涛, 张　跃, 谷景华.原位生长高度定向ZnO晶须. 必威体育下载 , 2004, 53(2): 646-650.doi:10.7498/aps.53.646
[17]	马宏, 陈四海, 金锦炎, 易新建, 朱光喜.1.55μm AlGaInAs-InP偏振无关半导体光放大器及其温度特性研究. 必威体育下载 , 2004, 53(6): 1868-1872.doi:10.7498/aps.53.1868
[18]	黄劲松, 董逊, 刘祥林, 徐仲英, 葛维琨.AlInGaN材料的生长及其光学性质的研究. 必威体育下载 , 2003, 52(10): 2632-2637.doi:10.7498/aps.52.2632
[19]	李培咸, 郝跃, 范隆, 张进城, 张金凤, 张晓菊.基于量子微扰的AlGaN/GaN异质结波函数半解析求解. 必威体育下载 , 2003, 52(12): 2985-2988.doi:10.7498/aps.52.2985
[20]	张德恒, 刘云燕, 张德骏.用MOCVD方法制备的n型GaN薄膜紫外光电导. 必威体育下载 , 2001, 50(9): 1800-1804.doi:10.7498/aps.50.1800

计量

文章访问数:7684
PDF下载量:1238
被引次数:0

搜索

留言板

MOCVD growth and characteristics of high quality AlGaN used in the DBR structure of ultraviolet detector

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

MOCVD growth and characteristics of high quality AlGaN used in the DBR structure of ultraviolet detector

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们