- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要
以CF4,CH4和N2为源气体，采用射频等离子体增强化学气相沉积法，在不同射频功率下制备了含氮氟化类金刚石薄膜样品.原子力显微形貌显示，低功率下沉积样品表面致密均匀.拉曼及傅里叶变换红外光谱分析显示，随着射频功率的改变，薄膜的结构和组分也随之变化.紫外-可见光透射光谱证明薄膜具有紫外强吸收特性，通过计算得到其光学带隙在1.89—2.29 eV之间.结果表明，射频功率增加，薄膜内sp2C含量增加，或者说C=C交联相对浓度增加、F的相对浓度降低，导致薄膜内π-π*带边态密度增大，光学带隙减小.

关键词:
含氮氟化类金刚石薄膜/

射频功率/

光学带隙
Abstract
FN-DLC thin films, radio-frequency power, optical band gap

Keywords:
Nitrogen doped fluorinated diamond-like carbon (FN-DLC) thin films is deposited using radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition under different radio-frequency power with CF4/

CH4 and N2 assource gases. Ato/
作者及机构信息
肖剑荣³,

徐慧²,

郭爱敏²,

王焕友¹
Authors and contacts
Xiao Jian-Rong³,

Xu Hui²,

Guo Ai-Min²,

Wang Huan-You¹
参考文献

施引文献

[1]	李同锴, 徐征, 赵谡玲, 徐叙瑢, 薛俊明.过渡区p型氢化硅氧薄膜结构和光电特性的研究. 必威体育下载 , 2017, 66(19): 196801.doi:10.7498/aps.66.196801
[2]	郭少强, 侯清玉, 赵春旺, 毛斐.V高掺杂ZnO最小光学带隙和吸收光谱的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2014, 63(10): 107101.doi:10.7498/aps.63.107101
[3]	马海林, 苏庆.氧分压对溅射制备氧化镓薄膜结构及光学带隙的影响. 必威体育下载 , 2014, 63(11): 116701.doi:10.7498/aps.63.116701
[4]	宗双飞, 沈祥, 徐铁峰, 陈昱, 王国祥, 陈芬, 李军, 林常规, 聂秋华.Ge20Sb15Se65薄膜的热致光学特性变化研究. 必威体育下载 , 2013, 62(9): 096801.doi:10.7498/aps.62.096801
[5]	罗晓东, 狄国庆.溅射制备Ge,Nb共掺杂窄光学带隙和低电阻率的TiO2薄膜. 必威体育下载 , 2012, 61(20): 206803.doi:10.7498/aps.61.206803
[6]	闫建成, 何智兵, 阳志林, 张颖, 唐永建, 韦建军.射频功率对辉光放电聚合物结构和性能的影响. 必威体育下载 , 2011, 60(3): 036501.doi:10.7498/aps.60.036501
[7]	聂秋华, 王国祥, 王训四, 徐铁峰, 戴世勋, 沈祥.Ga对新型远红外Te基硫系玻璃光学性能的影响. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 7949-7955.doi:10.7498/aps.59.7949
[8]	贾璐, 谢二庆, 潘孝军, 张振兴.溅射制备非晶氮化镓薄膜的光学性能. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 3377-3382.doi:10.7498/aps.58.3377
[9]	兰伟, 唐国梅, 曹文磊, 刘雪芹, 王印月.Ni掺杂ZnO薄膜的结构与光学特性研究. 必威体育下载 , 2009, 58(12): 8501-8505.doi:10.7498/aps.58.8501
[10]	朱丽, 江美福, 宁兆元, 杜记龙, 王培君.不同射频输入功率下制备的氟化类金刚石碳膜疏水性研究. 必威体育下载 , 2009, 58(9): 6430-6435.doi:10.7498/aps.58.6430
[11]	潘孝军, 张振兴, 王涛, 李晖, 谢二庆.溅射制备纳米晶GaN∶Er薄膜的室温发光特性. 必威体育下载 , 2008, 57(6): 3786-3790.doi:10.7498/aps.57.3786
[12]	蒋爱华, 肖剑荣, 王德安.退火对含氮氟非晶碳膜结构及光学带隙的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(9): 6013-6017.doi:10.7498/aps.57.6013
[13]	邓金祥, 汪旭洋, 姚倩, 周涛, 张晓康.立方氮化硼薄膜的光学带隙. 必威体育下载 , 2008, 57(10): 6631-6635.doi:10.7498/aps.57.6631
[14]	许颖, 刁宏伟, 张世斌, 励旭东, 曾湘波, 王文静, 廖显伯.微量掺碳nc-SiC:H薄膜用于p-i-n太阳电池的窗口层. 必威体育下载 , 2007, 56(5): 2915-2919.doi:10.7498/aps.56.2915
[15]	肖剑荣, 徐慧, 郭爱敏, 王焕友.含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究：(Ⅰ) sp结构与化学键分析. 必威体育下载 , 2007, 56(3): 1802-1808.doi:10.7498/aps.56.1802
[16]	肖剑荣, 徐慧, 李燕峰, 李明君.氮分压对氮化铜薄膜结构及光学带隙的影响. 必威体育下载 , 2007, 56(7): 4169-4174.doi:10.7498/aps.56.4169
[17]	李红轩, 徐洮, 陈建敏, 周惠娣, 刘惠文.射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响. 必威体育下载 , 2005, 54(4): 1885-1889.doi:10.7498/aps.54.1885
[18]	辛煜, 宁兆元, 程珊华, 陆新华, 甘肇强, 黄松.ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N2气氛中的热退火研究. 必威体育下载 , 2002, 51(2): 439-443.doi:10.7498/aps.51.439
[19]	叶超, 宁兆元, 程珊华, 王响英.氟化非晶碳薄膜的光学带隙分析. 必威体育下载 , 2002, 51(11): 2640-2643.doi:10.7498/aps.51.2640
[20]	杨慎东, 宁兆元, 黄峰, 程珊华, 叶超.a-C:F薄膜的热稳定性与光学带隙的关联. 必威体育下载 , 2002, 51(6): 1321-1325.doi:10.7498/aps.51.1321

计量

文章访问数:8858
PDF下载量:1251
被引次数:0

搜索

留言板

Study on FN-DLC thin films: (Ⅱ) effect of radio frequency power on the optical band gap of the thin films

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Study on FN-DLC thin films: (Ⅱ) effect of radio frequency power on the optical band gap of the thin films

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们