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    池凌飞, 林揆训, 姚若河, 林璇英, 余楚迎, 余云鹏

    DIAGNOSTIC OF RF PLASMA BY USING LANGMUIR PROBE AND ITS NUMERICAL PROCESSING

    CHI LING-FEI, LIN KUI-XUN, YAO RUO-HE, LIN XUAN-YING, YU CHU-YING, YU YUN-PENG
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    出版历程
    • 收稿日期:2000-10-15
    • 修回日期:2000-12-09
    • 刊出日期:2001-07-20

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