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摘要

在薄膜生长的成核阶段，稳定聚集体将逐渐覆盖衬底表面．同时，薄膜的生长将发生在被覆盖的衬底部分，而成核则发生在未被覆盖的部分．本文研究了衬底表面被覆盖的程度对薄膜成核和生长的影响，对广泛应用的薄膜理论，给出一些修正公式．结果表明，成核速率正比于衬底表面未被覆盖面积的平方．而薄膜理论认为成核速率是时间常量，似显得粗糙．
Abstract
In nucleation process of thin film growth, stable clusters will gradually cover substrate surface. The growth will occur in the covered parts of substrate, and the nucleation will proceed in the uncovered parts. In this paper, we investigate the influence of coverage on nucleation and growth of thin films and give a series of revised formulae for the widely used theory of thin film growth. We get that the nucleation rate is proportional to the square of uncovered area. It looks rough that the nucleation rate is considered to be a constant in thin film theories.
作者及机构信息
邵庆益,

方容川,

廖源,

韩祀瑾

1.

基金项目:国家高技术研究发展计划（批准号：863-715-002-003)资助的课题.
Authors and contacts
SHAO QING-YI,

FANG RONG-CHUAN,

LIAO YUAN,

HAN SI-JIN

1.
参考文献

施引文献

[1]	刘骏杭, 朱照照, 毕林竹, 王鹏举, 蔡建旺.重金属缓冲层和覆盖层对TbFeCo超薄膜磁性及热稳定性的影响. 必威体育下载 , 2023, 72(7): 077501.doi:10.7498/aps.72.20222239
[2]	王云天, 曾祥国, 杨鑫.高应变率下温度对单晶铁中孔洞成核与生长影响的分子动力学研究. 必威体育下载 , 2019, 68(24): 246102.doi:10.7498/aps.68.20190920
[3]	张传军, 邬云骅, 曹鸿, 高艳卿, 赵守仁, 王善力, 褚君浩.不同衬底和CdCl2退火对磁控溅射CdS薄膜性能的影响. 必威体育下载 , 2013, 62(15): 158107.doi:10.7498/aps.62.158107
[4]	石高明, 邹志强, 孙立民, 李玮聪, 刘晓勇.Si衬底上生长的MnSi薄膜和MnSi1.7 纳米线的STM和XPS分析. 必威体育下载 , 2012, 61(22): 227301.doi:10.7498/aps.61.227301
[5]	江洋, 罗毅, 汪莱, 李洪涛, 席光义, 赵维, 韩彦军.柱状与孔状图形衬底对MOVPE生长GaN体材料及LED器件的影响. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 3468-3473.doi:10.7498/aps.58.3468
[6]	杨仕娥, 文黎巍, 陈永生, 汪昌州, 谷锦华, 郜小勇, 卢景霄.衬底温度和硼掺杂对p型氢化微晶硅薄膜结构和电学特性的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(8): 5176-5181.doi:10.7498/aps.57.5176
[7]	谢清连, 阎少林, 赵新杰, 方兰, 季鲁, 张玉婷, 游石头, 李加蕾, 张旭, 周铁戈, 左涛, 岳宏卫.高温退火对蓝宝石基片的表面形貌和对CeO2缓冲层以及Tl-2212超导薄膜生长的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(1): 519-525.doi:10.7498/aps.57.519
[8]	吴小丽, 陈长乐, 韩立安, 罗炳成, 高国棉, 朱建华.衬底温度对PLD法生长的Mg0.05Zn0.95O薄膜结构和发光特性的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(6): 3735-3739.doi:10.7498/aps.57.3735
[9]	李健, 朱洁.硒化技术对CuInSe2薄膜表面形貌和晶相的影响. 必威体育下载 , 2007, 56(1): 574-582.doi:10.7498/aps.56.574
[10]	孙成伟, 刘志文, 秦福文, 张庆瑜, 刘琨, 吴世法.生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响. 必威体育下载 , 2006, 55(3): 1390-1397.doi:10.7498/aps.55.1390
[11]	臧竞存, 田战魁, 刘燕行, 迟静, 邹玉林, 魏建忠, 叶建萍.溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的成核-生长和失稳分解研究. 必威体育下载 , 2006, 55(3): 1358-1362.doi:10.7498/aps.55.1358
[12]	郑秋容, 付云起, 林宝勤, 袁乃昌.介质覆盖对高阻表面带隙的影响. 必威体育下载 , 2006, 55(9): 4698-4703.doi:10.7498/aps.55.4698
[13]	陈奶波, 吴惠桢, 邱东江.白宝石衬底上生长的MgxZn1-xO晶体薄膜的结构和光学性能. 必威体育下载 , 2004, 53(1): 311-315.doi:10.7498/aps.53.311
[14]	王晓平, 谢峰, 石勤伟, 赵特秀.晶格失配对异质外延超薄膜生长中成核特性的影响. 必威体育下载 , 2004, 53(8): 2699-2704.doi:10.7498/aps.53.2699
[15]	陈光华, 邓金祥, 张生俊, 宋雪梅, 王波, 严辉.衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响. 必威体育下载 , 2001, 50(1): 83-87.doi:10.7498/aps.50.83
[16]	刘洪飞, 陈弘, 李志强, 万里, 黄绮, 周均铭, 罗毅, 韩英军.GaAs(001)衬底上分子束外延生长立方和六方GaN薄膜. 必威体育下载 , 2000, 49(6): 1132-1135.doi:10.7498/aps.49.1132
[17]	张文军, 韩立, 胡博, 涨仿清, 陈光华.织构金刚石薄膜的成核与生长. 必威体育下载 , 1996, 45(1): 88-93.doi:10.7498/aps.45.88
[18]	吕宏强, 王杰, 沈军, 刘咏, 王迅, 王昌平, 王建宝, 李晨, 沈孝良.衬底温度对热壁外延ZnSe薄膜质量的影响. 必威体育下载 , 1992, 41(8): 1308-1314.doi:10.7498/aps.41.1308
[19]	普小云, 王仲永, 莫育俊, 王瑞兰, 李宏成.Pt和Pd的超薄覆盖层对Ag膜表面增强喇曼散射的影响. 必威体育下载 , 1988, 37(7): 1137-1143.doi:10.7498/aps.37.1137
[20]	王志超, 宋杰.a-Si在不同衬底材料表面凝聚和生长的状况. 必威体育下载 , 1987, 36(1): 17-23.doi:10.7498/aps.36.17

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