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    王印月, 张仿清, 陈光华

    A STUDY ON THE METASTABLE THERMAL DEFECTS IN REACTIVELY SPUTTERED a-SiGe:H FILMS

    WANG YIN-YUE, ZHANG FANG-QING, CHEN GUANG-HUA
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    出版历程
    • 收稿日期:1989-12-21
    • 刊出日期:1990-05-05

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